Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

Провайдер Разрешения Nanopatterning Получает Заказ для Множественных Модулей Отпечатка

Published on September 25, 2012 at 6:22 AM

Волей Soutter

Молекулярные Отпечатки, провайдер систем высок-разрешения nanopatterning и разрешения, обеспечили заказ на покупку от главной парковой роты полупроводника выхлопотать множественным модулям отпечатка для внедрения в свои stepper системы.

Эти модули состоят из Молекулярных Отпечатков' внутренняя технология Литографированием Отпечатка Двигателя и Вспышки (J-FIL), которая обеспечивает необходимое представление для массового производства изощренных приборов памяти полупроводника.

Молекулярная технология Отпечатков' самая последняя J-FIL показывала 24 nm делая по образцу с более лучшим критическим единообразием размера (1,2 nm CDU, сигма 3) и линией шершавостью края (<2 nm LER, сигмой 3) с масштабируемостью до 10 nm используя одиночный делая по образцу процесс шага. Цена технологии J-FIL внутреннеприсущая преимуществ (CoO) владением достиганных через исключение затейливых оптически объективов и зеркал, сложностей при воображение используя ultrasensitive фоторезисты, и сила ограничивала источники света EUV, делает им идеал для продукции приборов памяти полупроводника.

Согласно Молекулярным Отпечаткам' Президент и Генеральный Директор, Марк Melliar-Смит, этот множественный заказ на покупку модуля отражают вотум доверия клиентов' что J-FIL в поздних стадиях готовности к продукции. Команды компании внутренние объенинялись в команду вверх с оборудованием и коммерчески соучастниками маски для деятельностей при развития и достигались значительно прогресса в прошлом одном годе, специально в зонах общих CoO и defectivity. Компания предвидит ближайший этап коммерциализации своей технологии J-FIL и смотрят, что вперед облегчает дорожную карту прибора памяти полупроводника на будущее.

Источник: http://www.molecularimprints.com

Last Update: 25. September 2012 08:08

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit