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Nanopatterning 解决方法提供者收到多个版本记录模块的订单

Published on September 25, 2012 at 6:22 AM

由意志 Soutter

分子版本记录,高分辨率 nanopatterning 的系统提供者和解决方法,获取从主要半导体设备公司的采购订单为综合化获得多个版本记录模块到其步进系统。

这些模块包括分子版本记录’机构内部的喷气机和闪光版本记录石版印刷 (J-FIL) 技术,为复杂的半导体存储器设备的大量生产提供必需的性能。

分子版本记录’最新的 J-FIL 技术显示了仿造与更好的重要维数均一 (1.2 毫微米 CDU, 3 斯格码) 和线路边缘坎坷 (<2 nm LER, 3 的 24 nm 斯格码) 与可缩放性到使用一个唯一仿造的步骤进程的 10 毫微米。 所有权福利的 J-FIL 技术的内在费用 (CoO)通过复杂光学透镜和镜子,与使用超灵敏的光致抗蚀剂的想象的复杂的清除获得的,并且功率限制了 EUV 光源,做它半导体存储器设备的生产的理想。

根据 J-FIL 是进入最后生产阶段准备的分子版本记录’总裁兼首席执行官,标记 Melliar 史密斯,此多个模块采购订单反射客户’秘密表决。 公司的内部小组在过去一该年与设备和商业屏蔽合作伙伴合作的发展活动和取得了重大的进展,特别是在整体咕咕声和 defectivity 区。 这家公司期望下阶段其 J-FIL 技术的商品化并且盼望实现半导体存储器设备模式为将来。

来源: http://www.molecularimprints.com

Last Update: 25. September 2012 08:06

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