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与给予专利的 UniColore 电子来源的 FEI Versa 3D 双电子束现在 FIB/SEM

Published on September 26, 2012 at 5:46 AM

FEI 公司 (那斯达克: FEIC),提供想象和分析系统的一家主导的手段公司为研究和行业,今天宣布它添加了给予专利的 UniColore (UC) monochromated 电子来源对其多才多艺的 Versa 3D™ DualBeam™系统。

从 FEI 的 Versa 3D™ DualBeam™ FIB/SEM 系统。

UC 技术改进 DualBeam 的能力对图象罚款表面详细资料在低加速的电压,无需减弱其分析性能在高电压和射线当前。

“Versa 3D 现在是结合一个 monochromated FEG 来源的低压想象性能的唯一的 DualBeam 与非浸没物端透镜的通用性和易用”,指明的安德烈 Mijiritskii,主任 SEM 的产品销售和 DualBeams, FEI 材料学营业单位。 “结果,它在大范围可能提供好表面详细资料的高分辨率图象标本,包括绝缘,磁性和轻要素材料和大或多的个形状的范例。 同一台仪器可能为快速,准确的分析提供需要的高当前和电压。 非浸没透镜很好执行在为分析和自动化的程序是特别重要的,例如序列片式和 3D 重建和 TEM 范例准备的更长的工作距离”。

UC 来源巨大改进想象解决方法在低加速的电压经过减少在射线电子中分布的能源,减少色象差并且允许这条射线集中到一个更小的地点于范例表面。 给出充分地小的地点、分辨率和区分出现详细资料进一步被提高在低射线电压由射线渗透和分散的减少。 低压想象可能也消灭干涉在绝缘的材料的想象的充电的作用。

Versa 3D DualBeam 设计以一个高可配置平台允许客户适应系统能力他们的特定需求。 高真空、低真空和环境扫描电子显微镜术 (ESEM)选项提供大范围的覆盖范围范例类型和应用。

Versa 与给予专利的 UC monochromated 电子来源的 3D DualBeam 为预定现在是可用的。 UC 单色仪性能也是可用的在 FEI 的 Titan™传输电子显微镜、 Magellan™极其高分辨率扫描电子显微镜和 Helios NanoLab™ DualBeam™。 对于更多信息,请访问 FEI 网站

Last Update: 26. September 2012 06:52

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