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La Nuova Tecnica di Microscopia Verifica e Controllare il Trattamento Incisione su Nanoscale

Published on September 29, 2012 at 7:51 AM

Dalla Volontà Soutter

Un gruppo di ricerca piombo dai Professor Gabriel Popescu e Lynford Goddard dall'Università dell'Illinois ha sviluppato una tecnica economica facendo uso di un genere dello speciale di microscopio per incidere le funzionalità delicate sulla superficie dei semiconduttori, mentre simultaneamente riflette il processo completo in tempo reale con risoluzione del nanoscale.

Ciò è un'immagine tridimensionale del logo dell'Università dell'Illinois inciso in un semiconduttore dell'arsenuro di gallio, catturato durante incisione con una nuova tecnica di microscopia che riflette il trattamento incisione sul disgaggio di nanometro. La differenza di altezza fra le regioni arancio e porpora è circa 250 nanometri. (foto da Chris Edwards, Amir Arbabi, Gabriel Popescu e Lynford Goddard)

Il microscopio utilizza due raggi luminosi all'immagine e scolpisce la topografia con molto alta precisione. Goddard informato che il concetto è basato sulla possibilità di misurazione dell'altezza della struttura quando l'indicatore luminoso ottiene riflesso fuori dalle superfici differenti. La tariffa incissione all'acquaforte può essere determinata osservando i cambiamenti dell'altezza, permettendo al gruppo di riflettere il trattamento incisione. Ciò, a sua volta, permette al gruppo di determinare la tariffa incissione all'acquaforte attraverso spazio come pure attraverso tempo in ogni posto sul wafer a semiconduttore che rientra nel campo visivo del microscopio.

Le tecniche Attuali di microscopia di traforo di scansione o di microscopia atomica della forza non sono capaci di video del trattamento incisione nel suo progresso. La nuova tecnica è più veloce, meno rumoroso, economico ed è puramente ottica, che permette al video del wafer intero immediatamente piuttosto che punto per punto senza toccare la superficie a semiconduttore.

Oltre ad osservare il trattamento incisione, l'indicatore luminoso funge da un catalizzatore per il trattamento ha definito incisione fotochimica. Per creare le funzionalità richieste, le maschere con i reticoli unici di gray sono usate per splendere l'indicatore luminoso dai gradi, un trattamento che è che richiede tempo e costoso. Tramite il confronto, nella nuova tecnica, un'immagine di gradazione di grigio è splesa sul campione nell'ambito incisione facendo uso di un proiettore, così permettendo che il gruppo formi facilmente e rapido i reticoli complessi come pure che li regola quando richiesto semplicemente cambiando il reticolo del proiettore.

Secondo i ricercatori, questo metodo mostra la promessa nel video in tempo reale del montaggio di auto dei nanotubes del carbonio o nel video di errore nella produzione su grande scala dei chip di computer. Può facilitare i chipmaker per abbassare il tempo di lavorazione e le spese continuamente assicurando la calibratura della loro strumentazione.

Sorgente: http://www.illinois.edu

Last Update: 29. September 2012 08:56

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