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A Técnica Nova da Microscopia Monitora e Controla o Processo Gravura A Água-forte em Nanoscale

Published on September 29, 2012 at 7:51 AM

Pela Vontade Soutter

Uma equipa de investigação conduzida por Professores Gabriel Popescu e Lynford Goddard das Universidades de Illinois desenvolveu uma técnica barata usando um tipo especial do microscópio para gravar características delicadas na superfície dos semicondutores, ao simultaneamente monitorar o todo o processo no tempo real com definição do nanoscale.

Esta é uma imagem tridimensional do logotipo das Universidades de Illinois gravado em um semicondutor do arsenieto de gálio, tomado durante gravura a água-forte com uma técnica nova da microscopia que monitore o processo gravura a água-forte na escala do nanômetro. A diferença da altura entre as regiões alaranjadas e roxas é aproximadamente 250 nanômetros. (foto por Chris Edwards, Amir Arbabi, Gabriel Popescu, e Lynford Goddard)

O microscópio utiliza dois feixes luminosos à imagem e cinzela a topografia com muito elevada precisão. Goddard informado que o conceito está baseado na possibilidade de medir a altura da estrutura quando a luz obtiver refletida fora das superfícies diferentes. A taxa gravura em àgua forte pode ser determinada observando as mudanças na altura, permitindo a equipe de monitorar o processo gravura a água-forte. Isto, por sua vez, permite a equipe de determinar a taxa gravura em àgua forte através do espaço assim como através do tempo em cada ponto na bolacha de semicondutor que vem dentro do campo de visão do microscópio.

As técnicas Existentes da microscopia da escavação de um túnel da exploração ou da microscopia atômica da força não são capazes de monitorar o processo gravura a água-forte em seu progresso. A técnica nova é mais rápida, menos ruidoso, barato, e é puramente óptica, que permite a monitoração da bolacha inteira imediatamente um pouco do que ponto por ponto sem tocar na superfície do semicondutor.

Além de observar o processo gravura a água-forte, a luz actua como um catalizador para o processo dublou gravura a água-forte fotoquímica. Para criar características exigidas, as máscaras com os testes padrões originais do cinza são usadas para brilhar a luz por graus, um processo que seja demorado e caro. Pela comparação, na técnica nova, uma imagem do grayscale é brilhada na amostra sob gravura a água-forte usando um projetor, assim permitindo que a equipe forme testes padrões intrincados facilmente e ràpida, assim como ajusta-os sempre que exigido simplesmente mudando o teste padrão do projetor.

De acordo com os pesquisadores, este método mostra a promessa na monitoração de tempo real do conjunto do auto de nanotubes do carbono ou na monitoração do erro na produção em grande escala de chip de computador. Pode facilitar fabricantes de chips para abaixar o tempo e as despesas de processamento continuamente assegurando a calibração de seu equipamento.

Source: http://www.illinois.edu

Last Update: 29. September 2012 08:56

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