Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Последовательная Запассивированность и Реактивное Вытравливание Иона Используемые для того чтобы Произвести Фотонные Кристаллы 3D

Published on October 6, 2012 at 2:51 AM

В самомоднейших радиосвязях, свет носит цифровую информацию над километрами в пределах секунд. Приспособленные оптически материалы контролируют светлые сигналы. В журнале AFM, исследователя от Берлина, Louvain, и от Института Технологии Карлсруэ представляют метод к кристаллам продукции фотонный. Их оптически свойства отрегулированы структурами размера микрометра. Метод быстр, дешев, и прост и отчасти использует принцип собственн-организации (DOI: 10.1002/adfm.201201138).

Глубоко под поверхностью кремния, метод SPRIE производит регулярн структуры в ряде микрометра которые рефрагируют свет. Фото: KIT/CFN

«Оптически свойства материалов могут быть повлияны на решительно специфическим structurization,» объясняют Andreas Frölich от Института Технологии Карлсруэ. Кремний использован в компонентах, например фильтрах или дефлекторах, для радиосвязей. До тех пор, однако, все эти компоненты плоски, т.е. плоско. Полностью романные принципиальные схемы могли быть возможны используя трехмерные компоненты. Расходование необходимо, что составило кремний очень высоко. Структура должна быть очень регулярн в всех 3 пространственных направлениях и детали иметь размер около одного микрометра, который соответствует до одно сотая из толщины волос.

«Наши новые методы изготовления SPRIE используют установили технологии, как вытравливание и новаторские методы как собственн-организация и совмещает их в очень творческом образе,» говорит Мартина Wegener, Профессора Института Прикладной Физики и Института Нанотехнологии НАБОРА и координатора Центра DFG для Функционального Nanostructures (CFN). Метод SPRIE прикладной для того чтобы составить кремний на обширных районах в простом и трехмерном образе. Во-первых, разрешение с микрометр-определенными размер сферами полистироля прикладной к поверхности кремния. После сушить, эти сферы автоматически формируют в плотном монослое на кремнии. На покрытии металла и удалении сфер, маски вытравливания сота остает на поверхности кремния.

«Эта маска вытравливания наш плоский шаблон для конструкции трехмерной структуры, «говорит Frölich. Свободные области извлекаются путем вытравлять с реактивным газом плазмы. Электрическое поле прикладной для того чтобы сделать etch частиц газа в глубину только или однотипово в всех направлениях. «В добавлении, мы можем специфически запассивировать стены отверстия, поэтому оно значит что оно защищен от более дальнеишего вытравливания слоем полимера.»

Повторенные вытравливание и запассивированность делают отверстия маски вытравливания вырасти в глубину. С до 10 микрометрами, их глубина превышает их ширину фактором больше чем 10. Шаги процесса и электрическое поле отрегулированы точно для того чтобы контролировать структуру стен. Вместо простого отверстия с вертикальными ровными стенами, каждым шагом вытравливания производит сферически нажатие с криволинейной поверхностью. Эта погнутость основа для постоянного посетителя повторяя структуры романных волноводов. «Оптически радиосвязь осуществляет на длине волны µm 1,5. С нашим методом травления, мы производим гофрированную структуру в ряде микрометра вдоль стены.» Поле на близко смежном и очень глубокие, составленные отверстия действует как регулярн кристалл который рефрагирует в пожеланном образе.

Метод SPRIE (Последовательная Запассивированность и Реактивное Вытравливание Иона) может произвести трехмерный фотонный кристалл в пределах немного минут, по мере того как он основан на обычных промышленных процессах. В принципе, трехмерную структуру можно произвести в кремнии используя свободно choosable маску. Эт открытые поднимающие вверх новые возможности для соотвествовать сделанные на оптически компонентах в радиосвязях. Различные конструкции фотонных кристаллов доступны. Некоторые прикладной как волноводы с очень малыми радиусами погнутости и малыми потерями или как весьма фильтры и мультиплексоры мал-диапазона оптически. В немногих декадах, компьютеры работая с светом вместо электричества могли быть возможны. Отдельно от НАБОРА, Бельгийское catholique de Louvain Université и Университет Гумбольдта, Берлин, включились в развитие.

Источник: http://www.kit.edu/

Last Update: 6. October 2012 08:40

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit