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Wafer Hersteller-Shenyang-Silikon-Technologie Baut Automatisierte Produktions-Masseverbindungs-Anlage ein

Published on October 10, 2012 at 5:37 AM

Gruppe (EVG), ein führender Lieferant des Wafermasseverbindungs- und -lithographiegeräts für das MEMS, Nanotechnologie und Halbleitermärkte, kündigten heute an, dass Shenyang Silicon Technology Co. Ltd. (SST) erfolgreich ein EVG850LT 300 mm eingebaut hat, automatisierte Produktionsmasseverbindungsniedrigtemperaturanlage für Silikon-aufisolator (SOI) Materialien.

Der Waferanbieter China-U.S. Beteiligungsgeschäfts SOI wählte das 300 mm-bonder als Folge zu seinem früheren Kauf eines 200 mm EVG850LT aus. Die Anlage hat bereits zu hochmodernem Teildienst SSTS versendet und den ersten Einbau in China eines 300 Waferherstellungshilfsmittels mm SOI markiert.

„Unsere 200 Anlage mm EVG850LT ist instrumentell gewesen, wenn sie uns half, erfüllen Kundenanforderungen für leistungsstarke SOI-Wafers,“ angegebener Prof. Er ZhiQiang, CEO von SST. „Während wir schauen, um unsere Fähigkeit voranzubringen, Wafers 300 mm SOI in den hohen Volumen zu produzieren, benötigen wir Technologie, die den gleichen Grad von Zuverlässigkeit, von Durchsatz und von Qualität anbietet, wie wir mit unserem früheren EVG-bonder erfuhren, also, eine 300 mm-Version des EVG850LT unserer Zeile war hinzuzufügen eine einfache zu machen Entscheidung.“

Eine aktivierende Schlüsseltechnologie für den SOI-Waferherstellungsprozeß, Wafermasseverbindung erzielt hochwertiges, Einzelkristall Silikonfilme auf isolierenden Substratflächen. Mit der Produktions-Masseverbindungsanlage EVG850LT SOI werden alle wesentlichen Schritte für niedrigtemperatur-SOI-Masseverbindung, von Reinigung und Ausrichtung zu Vormasseverbindung und IR-Inspektion, kombiniert, um ein hohes Ertragproduktionsverfahren für ungültig-freie 300 mm-Wafers zuzusichern. Dieses hat Einrichtung der Familie EVG850 wie das industriekompatible im SOI-Wafermarkt aktiviert.

Swen Zhu, Verkaufsleiter für EV-Gruppe in China, beachtet, „die Nachfrage nach SOI-basierten Einheiten fährt fort, besonders in den neuen Märkten wie China schnell zu wachsen und erstellt mehr Gelegenheit, damit EVG unsere Verhältnisse zu unseren Abnehmern ausdehnt, SOI-Wafers produzierend. Diese Folgeordnung von SST dient, unser Bündnis zu verstärken und nachgewiesene Führung EVGS auszudehnen, wenn sie zur Verfügung stellt hoch entwickelte Verfahrenstechnik für SOI-Waferentwicklung.“

Quelle: http://www.EVGroup.com

Last Update: 10. October 2012 06:23

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