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Posted in | Nanomaterials

Anlage Oxford-Instrumente FlexAL ALD Gewählt Durch Chalmers-Universität

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Oxford-Instrumente, einer der Schlüsselhersteller der Welt der Plasmaätzungs- und -absetzungsanlagen, freut sich, anzukündigen, dass er durch Chalmers-Technische Hochschule in Schweden beschlossen worden ist, um eine Anlage FlexAL ALD für Einbau in ihrem hochmodernen Cleanroom zu liefern.

Die Oxford-Instrumente FlexAL-Anlagen stellen eine neue Reichweite der Flexibilität und der Fähigkeit in der Technik von nanoscale Zellen und Einheiten vom Angebot von Fernprozessen des plasmas ALD und thermisches ALD innerhalb einer einzelnen ALD-Anlage zur Verfügung.

Atomschichtabsetzung (ALD) ist eine wahre „Nano-“ Technologie und erlaubt, dass ultradünne Filme einiger nanometres auf eine genau esteuerte Art abgegeben werden. Die zwei definierenden Eigenschaften von ALD - Atom-Schicht-durchschicht Wachstum und in hohem Grade konforme Beschichtung selbst-begrenzend - bieten viel Nutzen in der Halbleitertechnik, in MEMS und in anderen Nanotechnologieanwendungen an. Die FlexAL-Anlage entbindet maximale Flexibilität in der Materialauswahl und Vorläuferniedrigtemperaturprozesse aktiviert durch Plasma ALD; niedriger Schaden aufrechterhalten unter Anwendung von Fernplasma; und kontrollierbare, wiederholbare Prozesse über Rezept-gesteuerte Programmschnittstelle.

Dr. Matten Hagberg, Prozessausrüstungs-Spezialist am Nanofabrikations-Labor, sagt Chalmers-Technische Hochschule in Schweden, „Wir haben gesehen einen erhöhten Bedarf an sehr dünnem, Filme der hohen Qualität der genauen Stärke in unserer Nanotechnologieforschung. Das Vorstellen der AtomSchicht-Absetzungsfähigkeit zu unserem Prozesslabor macht es möglich, damit wir unser terahertz, Mikrowelle und Quantumsbauteilforschung zu einer neuen Stufe nehmen. FlexAL war die ALD-Anlage auf dem Markt, den dieses Beste übereinstimmte unsere technische Bedingung.“

Chris Hodson, ALD-Produkt-Manager an Oxford-Instrumenten sagt „Hilfsmittelangebote TheFlexAL ALD die ideale Plattform für Forschung und Entwicklung in viele Neuanmeldungsbereiche und hat die Flexibilität, verschiedene Materialien aufzubereiten und eine große Auswahl von Substratflächen zu handhaben. Unsere ausgezeichneten Prozessanwendungen team und globaler Vorfeldwartungsdienst garantieren, dass unsere Abnehmer in jeder Hinsicht unterstützt werden und auf ihren Oxford-Instrumentanlagen für maximalen Uptime und Zuverlässigkeit zählen können.“

Last Update: 16. October 2012 07:41

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