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Posted in | Nanomaterials

Sistema de FlexAL ALD de los Instrumentos de Oxford Elegido Por la Universidad de Chalmers

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Los Instrumentos de Oxford, uno de los fabricantes dominantes del mundo de sistemas del grabado de pistas y de la deposición del plasma, está satisfechos anunciar que ha sido elegido por la Universidad Tecnológica de Chalmers en Suecia para suministrar un sistema de FlexAL ALD para la instalación en su recinto limpio avanzado.

Los sistemas de FlexAL de los Instrumentos de Oxford proporcionan a un nuevo rango de la adaptabilidad y de la capacidad en la ingeniería de las estructuras y de los dispositivos del nanoscale ofreciendo procesos alejados del plasma ALD y ALD térmico dentro de un único sistema de ALD.

La deposición Atómica de la capa (ALD) es una tecnología “nana” verdadera, permitiendo que las películas ultrafinas de algunos nanometres sean depositadas de una manera exacto controlada. Las dos características de definición de ALD - uno mismo-limitando incremento atómico de la capa-por-capa y la capa altamente conformal - ofrecen muchas ventajas en la ingeniería del semiconductor, MEMS y otras aplicaciones de la nanotecnología. El sistema de FlexAL entrega adaptabilidad máxima en la opción de los materiales y de los procesos a baja temperatura de los precursores activados por el plasma ALD; daño inferior mantenido por el uso del plasma alejada; y procesos controlables, repetibles vía interfaz receta-impulsada.

El Dr. Estera Hagberg, Especialista del Equipo De Proceso en el Laboratorio de la Nanofabricación, la Universidad Tecnológica de Chalmers en Suecia dice, “Nosotros ha considerado una necesidad creciente de películas muy finas, de alta calidad del espesor exacto en nuestra investigación de la nanotecnología. La Introducción de capacidad Atómica de la Deposición de la Capa a nuestro laboratorio de proceso permitirá para que llevemos nuestro terahertz, microonda, e investigación de los componentes del quantum un nuevo nivel. FlexAL era el sistema de ALD en el mercado que ese mejor correspondió con nuestro pliego de condiciones técnico.”

Chris Hodson, Director de Producto de ALD en los Instrumentos de Oxford dice “ofertas de la herramienta de TheFlexAL ALD la plataforma ideal para la investigación y desarrollo en muchas áreas de la nueva aplicación, y tiene la adaptabilidad de tramitar los diversos materiales y de manejar una amplia gama de substratos. Nuestras aplicaciones de proceso excelentes team y el soporte de servicio global se asegura de que apoyen por todos conceptos y puedan contar a nuestros clientes en sus sistemas de Instrumentos de Oxford para el uptime y la confiabilidad máximos.”

Last Update: 16. October 2012 07:44

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