Posted in | Nanomaterials

Het Systeem van FlexAL ALD van de Instrumenten van Oxford dat Door Universiteit Chalmers wordt Gekozen

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Instrumenten van Oxford, één van de belangrijkste fabrikanten van de wereld van plasma etsen en de depositosystemen, is pleased om aan te kondigen dat het door Chalmers Universiteit van Technologie in Zweden is verkozen om een systeem van FlexAL ALD voor installatie in hun overzichtscleanroom te leveren.

De systemen van FlexAL van de Instrumenten van Oxford verstrekken een nieuwe waaier van flexibiliteit en vermogen in de techniek van nanoscalestructuren en apparaten door verre plasmaALD processen en thermische ALD binnen één enkel systeem aan te bieden ALD.

Het Atoom laagdeposito (ALD) is een ware „nano“ technologie, die uiterst dunne films van een paar nanometres toelaat om op een precies gecontroleerde manier worden gedeponeerd. Twee die kenmerken van ALD - zelf-beperkt atoom de laag-door-laag groei en hoogst conforme deklaag bepalen - bieden vele voordeel halen uit halfgeleidertechniek, MEMS en andere nanotechnologietoepassingen aan. Het systeem FlexAL levert maximumflexibiliteit in de keus van materialen en voorlopersprocessen bij lage temperatuur die door plasma ALD worden toegelaten; lage schade die door het gebruik van ver plasma wordt gehandhaafd; en controleerbare, herhaalbare processen via recept-gedreven softwareinterface.

Dr. Mats Hagberg, de Specialist van de Apparatuur van het Proces bij het Laboratorium van de Nanofabricatie, Universiteit Chalmers van Technologie in Zweden zegt, „Wij hebben een verhoogde behoefte aan zeer dun, hoog - kwaliteitsfilms van nauwkeurige dikte in ons nanotechnologieonderzoek gezien. Het Introduceren van het Atoomvermogen van het Deposito van de Laag aan ons proceslaboratorium zal het voor ons mogelijk maken om ons terahertz, microgolf, en quantumcomponentenonderzoek op een nieuw niveau te nemen. FlexAL was het systeem ALD op de markt die het best onze technische beschrijving.“ aanpaste

Chris Hodson, de Manager van het Product ALD bij de Instrumenten van Oxford zegt „het hulpmiddelaanbiedingen van TheFlexAL ALD het ideale platform voor onderzoek en ontwikkeling in vele nieuwe toepassingsgebieden, en heeft de flexibiliteit om diverse materialen te verwerken en een brede waaier van substraten te behandelen. Onze uitstekend team van procestoepassingen en globale de dienststeun zorgt ervoor dat onze klanten in elk opzicht worden gesteund en op hun systemen van de Instrumenten van Oxford voor maximum uptime en betrouwbaarheid kunnen tellen.“

Last Update: 16. October 2012 07:41

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit