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Posted in | Nanomaterials

Sistema de FlexAL ALD dos Instrumentos de Oxford Escolhido pela Universidade de Chalmers

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Os Instrumentos de Oxford, um dos fabricantes chaves do mundo de sistemas gravura em àgua forte e do depósito do plasma, são satisfeitos anunciar que estêve escolhido pela Universidade Tecnológica de Chalmers na Suécia fornecer um sistema de FlexAL ALD para a instalação em sua sala de limpeza avançada.

Os sistemas de FlexAL dos Instrumentos de Oxford fornecem uma escala nova da flexibilidade e da capacidade na engenharia de estruturas e de dispositivos do nanoscale oferecendo processos remotos do plasma ALD e ALD térmico dentro de um único sistema de ALD.

O depósito Atômico da camada (ALD) é uma tecnologia “nano” verdadeira, permitindo que os filmes ultra-finos de alguns nanometres sejam depositados em uma maneira precisamente controlada. As duas características de definição de ALD - auto-limitando o crescimento atômico da camada-por-camada e o revestimento altamente constituído - oferecem muitos benefícios na engenharia do semicondutor, no MEMS e nas outras aplicações da nanotecnologia. O sistema de FlexAL entrega a flexibilidade máxima na escolha de materiais e dos processos de baixa temperatura dos precursores permitidos pelo plasma ALD; baixo dano mantido pelo uso do plasma remoto; e processos verificáveis, repetíveis através da relação de software receita-conduzida.

Dr. Esteira Hagberg, Especialista do Equipamento de Processo no Laboratório da Nanofabricação, a Universidade Tecnológica de Chalmers na Suécia diz, “Nós considerou uma necessidade aumentada para filmes muito finos, de alta qualidade da espessura precisa em nossa pesquisa da nanotecnologia. Introduzir a capacidade Atômica do Depósito da Camada a nosso laboratório do processo tornará possível para que nós tomem nossos terahertz, microonda, e pesquisa dos componentes do quantum a um nível novo. FlexAL era o sistema de ALD no mercado que esse melhor combinou nossa especificação técnica.”

Chris Hodson, Director de Produto de ALD em Instrumentos de Oxford diz de “ofertas da ferramenta TheFlexAL ALD a plataforma ideal para a investigação e desenvolvimento em muitas áreas de nova aplicação, e tem a flexibilidade processar vários materiais e segurar uma vasta gama de carcaças. Nossas aplicações excelentes do processo team e o serviço de apoio global assegura-se de que nossos clientes estejam apoiados em todos os aspectos e possam contar em seus sistemas de Instrumentos de Oxford para o uptime e a confiança máximos.”

Last Update: 16. October 2012 07:44

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