Posted in | Nanomaterials

Система FlexAL ALD Аппаратур Оксфорда Выбранная Университетом Chalmers

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Аппаратуры Оксфорда, одно изготовлений мира ключевых систем etch и низложения плазмы, довольный для того чтобы объявить что оно было выбрано Технологическим Университетом Chalmers в Швеци для того чтобы поставить систему FlexAL ALD для установки в их современную чистую комнату.

Системы FlexAL Аппаратур Оксфорда обеспечивают новый ряд гибкости и возможности в инженерстве структур и приборов nanoscale путем предлагать дистанционные процессы плазмы ALD и термального ALD внутри одиночная система ALD.

Атомное низложение слоя (ALD) истинная «nano» технология, позволяющ ультратонким фильмам немного nanometres быть депозированным в точно контролируемом путе. 2 определяя характеристики ALD - собственн-ограничивающ атомный рост сло--слоя и сильно конформное покрытие - предлагают много преимуществ в инженерстве полупроводника, MEMS и других применениях нанотехнологии. Система FlexAL поставляет максимальную гибкость в выборе материала и процессы прекурсоров низкотемпературные позволенные плазмой ALD; низкое повреждение поддерживаемое при помощи дистанционной плазмы; и controllable, repeatable процессы через рецепт-управляемый интерфейс ПО.

Др. Циновка Hagberg, Специалист По Технологического Оборудования на Лаборатории Nanofabrication, Технологический Университет Chalmers в Швеци говорит, «Мы увидел увеличенную потребность для очень тонких, высокомарочных фильмов точной толщины в нашем исследовании нанотехнологии. Вводить Атомную возможность Низложения Слоя к нашей отростчатой лаборатории сделает его возможным для нас принять наши terahertz, микроволну, и исследование компонентов суммы к новому уровню. FlexAL было системой ALD на рынке то самое лучшее соответствовало нашим техническим данным.»

Крис Hodson, Менеджер по Продукции ALD на Аппаратурах Оксфорда говорит «предложения инструмента TheFlexAL ALD идеально платформа для научных исследований и разработки в много зон нового применения, и имеет гибкость обрабатывать различные материалы и регулировать широкий диапазон субстратов. Наши превосходные отростчатые применения объениняются в команду и сервисная поддержка глобального сервиса обеспечивает что наши клиенты поддержаны в каждом уважении и могут возлагать надежды на их системы Аппаратур Оксфорда для максимальных uptime и надежности.»

Last Update: 16. October 2012 07:44

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit