Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanomaterials

Oxford Instrumenterar det FlexAL ALD Systemet som Väljs Av den Chalmers Universitetar

Published on October 16, 2012 at 6:30 AM

Oxford Instrumenterar, en av världens nyckel- producenter av plasma etsar, och avlagringsystem, behas för att meddela, att den har valts av Chalmers tekniska högskola i Sverige för att leverera ett FlexAL ALD system för installation i deras statliga - av - - konstcleanroomen.

Oxforden Instrumenterar FlexAL system ger ett nytt spänner av böjlighet, och kapacitet i iscensätta av nanoscale strukturerar, och apparater, genom att erbjuda avlägset plasma ALD, bearbetar och termisk ALD inom ett system för singel ALD.

Atom- lagraravlagring (ALD) är en riktig ”nano” teknologi, att låta som ultra-är tunt, filmar av några nanometres som ska sättas in i som exakt långt kontrolleras. De två definierande kännetecknen av ALD - själv-begränsande atom- lagrar-vid-lagrar tillväxt och högt conformal täcka - erbjuder många gynnar i att iscensätta för halvledare, MEMS och andra nanotechnologyapplikationer. Det FlexAL systemet levererar maximum böjlighet i det primat av material, och precursorslåg-temperaturen bearbetar möjliggjort av plasma ALD; låg skada som underhålls av bruket av avlägset plasma; och controllable, repeatable bearbetar via recept-drivande programvara har kontakt.

Dren Mats Hagberg, den Processaa UtrustningSpecialisten på NanofabricationLaboratoriumet, Chalmers tekniska högskola i Sverige något att säga, ”har Vi sett ett ökande behov för mycket tunt som är högkvalitativt filmar av preciserar tjocklek i vår nanotechnologyforskning. Introducera Atom- LagrarAvlagringkapacitet till vårt ska processaa laboratorium gör det möjligheten för att oss ska ta vår terahertz, mikrovåg, och quantumdelar att forska till ett nytt jämnar. FlexAL var ALD-systemet på marknadsföra som det bäst matchade vår tekniska specifikation.”,

Chris Hodson, ALD-ProduktChef på Oxford Instrumenterar något att säga ”TheFlexAL ALD bearbetar erbjudanden idealplattformen för forskning och utveckling in i många områden för ny applikation och har böjligheten att bearbeta olika material och att behandla en lång räcka av substrates. Våra utmärkta processaa applikationer team, och global tjänste- service ser till att våra kunder stöttas i varje respekt och kan räkna på deras Oxford Instrumenterar system för maximum uptime och pålitlighet.”,

Last Update: 16. October 2012 07:45

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit