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牛津儀器和 MIT 宣佈關於後期發展的研討會在等離子銘刻證言和增長技術

Published on October 17, 2012 at 10:08 AM

牛津儀器等離子技術 & MIT 的微系統技術實驗室 (MTL),劍橋,麻省宣佈將解決最新的研究和技術在等離子的研討會銘刻證言和增長。

在 12月的 5日此 1 個天活動,在 MIT 校園在劍橋, MA,將包括介紹,討論和網絡連接午餐,著重最新的創新。

「我們主持這些成功的研討會全世界幾年,最近在分子鑄造廠, LBNL,加利福尼亞理工學院,美國,并且上海,中國和我們典型地吸引很大數量的參與者對每個活動」,說斯圖爾特米歇爾,牛津儀器美國公司的 VP 銷售額, 「這些討論會為學術和行業技術專家提供理想的機會給網絡并且共享想法,并且我們高興舉行有微系統技術實驗室的此聯合會議」。

畫像著作權: 牛津儀器。

研討會將包括從關鍵國際研究所的報告人,討論他們的研究: 埃爾溫 Kessels,技術大學艾恩德霍芬教授; Vince 赫諾瓦,康奈爾大學。 另外,在他們的領域的專家從牛津儀器 & MTL 對最近進程和應用程序開發將告訴在一定數量的等離子過程區。

介紹包括一個整天和當前包括:

  • ALD 應用
  • 等離子 ALD 進程概覽
  • MEMS 進程
  • Nanoscale 電介質蝕刻
  • PECVD & TEOS

維基 Diadiuk,運算副主任,博士,在 MTL, 「在 MTL 的此活動將允許我們的學員和研究員瞭解處理,從專家的更多關於基本層證言和等離子在牛津儀器,雖然同樣吸引從更寬的技術社區的參與者。 我們盼望受歡迎的客人到 MIT 為什麼承諾是一充分和有趣日。 」

因為安排是有限的,此研討會是免費,但是必須事先登記。 登記安排或獲得詳細信息,電子郵件: nancy.crouch@oxinst.com。  

關於牛津儀器 plc

牛津儀器設計,用品和支持高技術工具和系統與一個重點在研究和行業應用。 它提供必要的解決方法提前根本物理研究和其調用到商業納米技術應用。 創新是在牛津儀器的增長和成功後的驅動力 50 年,并且其方法是影響這些想法的成功的商品化通過帶來他們銷售一個及時和客戶集中的方式。

從牛津大學將消磨的第一技術商業在五十年期間前,牛津儀器現在是與 1900 人員的一家全球公司全世界并且是列出的在倫敦證券交易所 (OXIG) 的 FTSE250 索引。  其目的將是新一代工具和系統主導的提供者研究和工業部門的。

這在區介入核心技術的組合例如低溫、高磁場和超高真空環境,核磁反應, X-射線、電子和光學基於計量學和先進的增長、證言和蝕刻。

牛津儀器打算通過科學技術繼續處理負責的發展和對我們的世界的更加深刻的理解。 其產品、專門技術和想法論及全球問題例如能源、環境、證券和健康。  

關於牛津儀器等離子技術

牛津儀器等離子技術提供靈活,可配置處理工具和前進進程微型和納諾結構準確,可控制和可重複的工程的。 我們的系統為化合物半導體材料毫微米層外延生長,銘刻毫微米大小的功能和 nanostructures 受控增長提供處理解決方法。 這些解決方法在等離子改進的證言的核心技術基礎上和銘刻,離子束證言和銘刻和基本層證言。 從緊湊獨立系統的產品範圍 R&D 的,通過批工具和至成群的卡式磁帶對卡式磁帶平臺為高處理量生產處理。

Last Update: 17. October 2012 10:54

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