Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanofabrication

imec Introduceert Lenslet van de Douane Serie voor de Geavanceerde Lithografie van de Elektronenstraal

Published on November 6, 2012 at 4:42 AM

Imec kondigt aan dat het elektrostatische micro-lens (lenslet) een serie voor hulpmiddel van de Lithografie van de Elektronenstraal van KLA-Tencor het voorzien Weerspiegelende Heeft ontworpen (REBL) en vervaardigd. De technologie REBL laat potentieel een hoog productie e-straal het schrijven proces voor maskless lithografie toe. De lenslet serie is een zeer belangrijke component voor de vergelijking van het e-straal het schrijven proces. De Functionaliteit van de lenslet spaander werd aangetoond in de e-straal van REBL van KLA-Tencor kolom.

Lenslet bestaat uit een dicht ingepakte serie van 4µm diepe cilindrische gaten met een diameter 1.4 µm en het hoogste uit elkaar plaatsen van slechts 200nm. De elektronenstraal die de lenslet gaten ingaan wordt geconcentreerd door een reeks van 4 ringselektroden. De ringselektroden kunnen worden gestemd om de elektronenstralen door statische voltages tot toe te passen 50V op de ringselektroden te concentreren. De bodem van elk gat bestaat uit een kleine metaalplaat die door een CMOS schakelschema die, of of kan hieronder worden geschakeld op de inkomende elektronen wijzen absorberen. Op deze wijze, is de inkomende elektronenstraal verdeeld in 1 miljoen kleinere beamlets, een strategie die wordt ontworpen om hogere productie voor het e-straal het schrijven proces door vergelijking toe te laten.

Via zijn dienst CMORE, imec biedt bedrijven aan alle diensten verpakte aangepaste specialiteitmicrosystem producten moeten ontwikkelen. De diensten van Imec strekken zich van haalbaarheidsstudies, ontwerp en technologieontwikkeling, het testen en betrouwbaarheidsstudies uit, aan prototyping en kleine productie. En door zijn allianties, imec kan een weg ook aanbieden om de technologie naar een gieterij voor volumeproductie over te brengen.

Toolbox CMORE bevat een grote verscheidenheid van apparatentechnologieën op 200mm zoals CMOS, Si-Photonics, MEMS, de sensoren van het specialiteitbeeld en verpakking.

„Vele bedrijven kunnen van de apparaten van de specialiteithalfgeleider profiteren om de functionaliteit van hun apparatuur te verbeteren en te verhogen; “ verklaart Rudi Cartuyvels, Ondervoorzitter Smart Systems en Technologie Op Energiegebied bij imec. „Wij zijn pleased dat onze halfgeleider en heterogeene integratiedeskundigheid, en onze ontwerp en productiedienst, de ontwikkeling van het hulpmiddel van REBL van KLA-Tencor.“ steunden

Last Update: 6. November 2012 05:24

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit