Posted in | Nanofabrication

imec Вводит Изготовленный На Заказ Блок Lenslet для Предварительного Литографирования Луча Электронов

Published on November 6, 2012 at 4:42 AM

Imec объявляет что оно конструировало и изготовило электростатический блок микро--объектива (lenslet) для инструмента Литографированием Луча Электронов KLA-Tencor предвидимого (REBL) Отражательного. Технология REBL потенциально включает высокий процесс сочинительства e-луча объём для maskless литографирования. Блок lenslet ключевой компонент для parallelization процесса сочинительства e-луча. Функциональность обломока lenslet была продемонстрирована в колонке e-луча REBL KLA-Tencor.

Lenslet состоит из плотно упакованного блока отверстий 4µm глубоких цилиндрических с дистанционированием диаметра и верхней части 1,4 µm только 200nm. Луч электронов вводя отверстия lenslet сфокусирован через комплект 4 электродов кольца. Электроды кольца могут быть настроены для того чтобы сфокусировать лучи электронов путем придавать статические напряжения тока до 50V на электродах кольца. Дно каждого отверстия состоит из малое металлопластинчатого которое может быть переключено сетями CMOS ниже, или отражающ или поглощающ входящие электроны. В этом путе, входящий луч электронов разделен в 1 миллион более малых beamlets, стратегию конструированную для того чтобы включить более высокое объём для процесса сочинительства e-луча через parallelization.

Через свое обслуживание CMORE, компании предложений imec всем обслуживаниям нужно начать упакованные подгонянные продукты микросистемы специальности. Обслуживания Imec колебаются от анализа экономической целесообразности, развития конструкции и технологии, испытания и изучений надежности, к прототипированию и изготавливанию низк-тома. И через свои союзничества, imec может также предложить путь для возвращения технологии к плавильне для объема продукции.

Toolbox CMORE содержит большое разнообразие технологий прибора на 200mm как CMOS, Si-photonics, MEMS, датчики изображения специальности и упаковывать.

«Много компаний консервируют извлекали пользу полупроводниковые устройства специальности для того чтобы увеличить и увеличить функциональность их оборудования; » заявляет Rudi Cartuyvels, Недостаток - Президент Умные Системы и Технологию Энергии на imec. «Мы довольный что наши полупроводник и несродная экспертиза внедрения, и наши конструкция и обслуживание продукции, поддержали развитие инструмента REBL KLA-Tencor.»

Last Update: 6. November 2012 05:26

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit