Nytt Maskera Hoppar av Granskar Bearbetar från Advantest för Avancerade Photomasks

Published on November 16, 2012 at 6:32 AM

Advantest Korporation meddelade i dag, att den har framkallat ett nytt maskerar hoppar av granskar bearbetar, Maskera DR-SEM E5610, for granska och klassificera som ultra-är litet, hoppar av i photomask förbigår.

MASKERA DR-SEM E5610 (Foto: Affären Binder),

E5610en övertar det högt stabilt, fullständigt automatiskt avbilda tillfångatagandeteknologi som framkallas av Advantest för dess hyllde mång- visionmetrologySEM 2000 för photomasks, och särdragsom framkallas nyligen, strålar lutandemekanismen som möjliggör scanning på snett metar. Med dess kick-exakthet hoppar av kick-genomgång granskar kapacitet, förväntas E5610en för att bidra till kvalitets- förbättring för nästa generationphotomaskprodukten och kortare fabriks- TAT (produktionstider).

Den ska E5610en presenteras i Advantests utställning (båset #3D-803 i Hall 3) på handelshowen för SEMICON Japan, December 5-7 i Makuhari Messe i den Chiba prefecturen.

En Fabriks- Lösning för Nästa generationPhotomask

 Den fabriks- Photomasken bearbetar kräver eradication 100% av dödliga hoppar av, som påverkar motsatt avkastning, i tandemcykel med TAT-förminskning. Advantests lovar nya E5610 för att vara en oumbärlig lösning för maskerar producenter som tillfredsställer båda av dessa krav med, fastar, exakt teknologi som klassificerar hoppar av, och diagnoser anslår reparerar lösningar med hänseende för att skriva.

ProduktSärdrag

Rumslig Upplösning för Kick & Sned ScanningKapacitet

Advantests levererar privat kolonnarkitektur rumslig upplösning besegrar till 2nm, även på de låga accelerationsspänningarna anslår för att avskärma för photomask. Dessutom presenterar E5610en en unik, elektriskt kontrollerad lutandeenhet som låter dess strålar till lutande vid upp till 15° och att möjliggöra användare för att utföra 3D hoppar av granskar.

Högt Stabilt, Fullständigt Automatiskt Avbilda Tillfångatagandet

Fullständigt är automatiskt, hoppa av att avbilda på en hög frekvens av genomgång, Även om fungera på kickSEM 2000förstoring, E5610en utför stall som arrangerar tack till dess kick-exakthet, kontrollerar laddningen fungerar, och föroreningsförminskningsteknologi.

Kompatibelt Med Maskera KontrollSystem

E5610en är kompatibel med huvudström maskerar kontrollsystem: bearbetaimporterna hoppar av lägedata och avbildar automatiskt lägena. Det stöttar branschen som standarda KLARF (KLA-Resultat Sparar) formaterar.

Elementärt SammansättningsAnalysAlternativ

E5610en presenterar en valfri enhet för EDS (dispersive energi Röntgar spectrometry), som utför elementär analys-en som, den avancerade metoden av att kartlägga maskerar tomt hoppar av.

Källa: http://www.advantest.com

Last Update: 16. November 2012 07:51

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit