De Eer ENIAC JU VERBETEREN en de Projecten van de LENS voor de Innovatie van de Nanotechnologie

Published on November 22, 2012 at 4:37 AM

Twee onderzoekprojecten met een gecombineerde begroting die 70 miljoen euro bereikte significante vooruitgang in halfgeleider productieefficiency en nadert zijn erkend met de TOEKENNING van INNOVATIE 2012 ENIAC JU bij het Europese Forum Nanoelectronics.

De IMPROVE projectpartners ontwikkelden computermodellen voor apparatuur gedrag en geschiedenis toelatend virtuele metrologie, vooruitlopend onderhoud en aanpassingscontroleplannen om productie, stabiliteit en reproduceerbaarheid, en de algemene wafeltje fab efficiency aanzienlijk te verbeteren. Francois Finck van STMicroelectronics, de projectcoördinator, zei: „In IMPROVE, werkten zes fabrikanten met verrichtingen in Europa met 14 onderzoeklaboratoria, institutionele en academische, en 10 industriële oplossingsleveranciers om samen het overzicht in productiewetenschappen aanzienlijk vooruit te gaan en bereid te worden te concurreren gebaseerd bij efficiency en de innovatie“.

In LENS, gingen 12 partners ontwerp, maskers, metrologie, blootstellingshulpmiddel, aanzienlijk materialen en procesintegratie vooruit gebruikend dubbele blootstelling voor systemen op spaander en verbindingsstuk gebaseerde hoogte die voor het geheugen van de faseverandering verdubbelen de toepasselijkheid van de zittende technologie van de onderdompelingslithografie uit te breiden. Gerold Alberga van ASML, de projectcoördinator, zei: De „LENS behandelde de gehele keten van de lithografielevering, aantonend vormend resoluties compatibel met de 32 - 22nm technologieknopen voor zowel geheugen als logicaapparaten gebruikend de hulpmiddelen van de onderdompelingsblootstelling, daardoor toestaand de geschikte en economisch efficiënte ontwikkeling van de volgende generaties van halfgeleiderapparaten“.

De projecten ontvingen toelagen van ENIAC JU en de lidstaten ENIAC (VERBETER: Oostenrijk, Frankrijk, Duitsland, Ierland, Italië en Portugal; LENS: België, Frankrijk, Italië, Spanje en Nederland).

Andreas Wild, Uitvoerende Directeur ENIAC JU, zei: „VERBETER en de LENS is geselecteerd in de open en concurrerende oproep tot indiening van voorstellen vanaf 2008, en gekomen aan voltooiing dit jaar. Tussen 2008 en 2011, zette het ENIAC Ju- programma 40 projecten met gecombineerde begrotingen op touw die 1 miljard euro overschrijden, bevestigend de aanzienlijke invloed die de publiek-private samenwerkingsverbanden bij het vonken van innovatie.“ hebben

Op de zelfde gelegenheid, stelde de cluster CATRENE van EUREKA zijn Toekenning van de Innovatie aan het project EXEPT voor.

Bron: http://eniac.eu/

Last Update: 22. November 2012 05:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit