SEMATECH Selecteer Veeco voor het Extreme Ultraviolette $2.4m Project van de Lithografie

Published on April 23, 2007 at 11:17 PM

SEMATECH, vandaag kondigden het belangrijke nanoelectronicsconsortium van de wereld, en de Universiteit van Wetenschap Nanoscale en Techniek („CNSE“) van de Universiteit in Albany, huis aan het Expertisecentrum van de Staat van New York In Nanoelectronics en Nanotechnologie („CENN“), aan dat het Internationale Noorden SEMATECH („ISMTN“) Woodbury, op NY-Gebaseerd Inc. van Instrumenten Veeco voor een extra $2.4 miljoen project heeft geselecteerd dat kritieke onderzoek en ontwikkeling noodzakelijk om extreme ultraviolette („EUV“) lithografie toe te laten voor geavanceerde productie zal verstrekken.

Veeco, een belangrijke leverancier van metrologie en procesapparatuur de oplossingen voor de nanoelectronicsindustrie, zullen de financiering van SEMATECH ontvangen om zijn Hulpmiddel van het Deposito van de Ionenstraal verder te ontwikkelen, dat deel van Centrum van de Ontwikkeling van het Masker van ISMTN het Lege („MBDC“) uitmaakt, gelegen bij CNSE CENN. Sinds de aanvang van het Internationale Noorden SEMATECH in 2002, heeft Veeco bijna $19 miljoen in financiering voor de producten van de Ionenstraal en R&D- programma's ontvangen.

De hulpmiddelen van het Deposito van de Ionenstraal worden gebruikt in de vervaardiging van maskerspaties - de grondstof voor stencil-als photomasks dat worden gebruikt om patronen op nanoelectronicswafeltjes te beschrijven - en is essentieel voor het deposito van uiterst dunne lagen materialen die in het EUV productieproces worden geëist. Leiden de producten van het Deposito van de Ionenstraal van Veeco de industrie in hoge filmkwaliteit, die uiterst - laag corpusculair deposito en nauwkeurige controle van optische eigenschappen voor enige of multi-layer processen voorkomen. Allebei zijn kritiek voor het produceren van geavanceerde EUV photomasks.

Sinds zijn plaats bij de plaats CNSE CENN in 2002, heeft ISMTN een direct economisch effect van $320 miljoen geproduceerd en meer dan tot 1.650 high-tech banen in New York geleid, zowel ter plaatse als door een netwerk van partner meer dan 330, spreiden de leverancier en de samenwerkingsbedrijven over de Staat van New York uit - 228 waarvan (meer dan tweederden) buiten het HoofdGebied, met inbegrip van 36 in de Stad van New York, 39 in het gebied van de Meren van de Vinger, 27 in de Grens Niagara, en 43 op Long Island worden gevestigd.

SEMATECH Voorzitter en CEO Michael R. Polcari zeiden, „Aangezien de duwen SEMATECH agressief aan klaar extreme ultraviolette lithografie voor geavanceerde productie, onze capaciteit om met de infrastructuur over de gehele staat van nanoelectronics-geconcentreerde, van wereldklasse bedrijven door New York te werken aan ons succes kritiek is. Dit recentste project met Veeco, in overleg met honderden de bedrijven van New York wij met werken, dient om het onderzoek en de ontwikkeling te versnellen die zowel voor de toekomst van lithografie EUV als de globale nanoelectronicsindustrie.“ essentieel is

De Ondervoorzitter CNSE en de Belangrijkste Administratieve Ambtenaar Dr. Alain E. Kaloyeros zeiden, „Als zeer belangrijke ankerhuurder van het Expertisecentrum van de Staat van New York In Nanoelectronics en Nanotechnologie en UAlbany NanoCollege, SEMATECH heeft hand in hand met NanoCollege gewerkt om een netwerk over de gehele staat van honderden de bedrijven van New York te voeden en te bouwen om scherp-rand, high-tech onderzoek, ontwikkeling, en introductie op de marktinitiatieven vooruit te gaan. In het proces, bouwt het vennootschap sematech-CNSE een nanotech-savvy cultuur en een netwerk van hoogst opgeleide mensen en concurrerende bedrijven die een kritieke rol in het aantrekken van toekomstige high-tech werkgelegenheid, investering en de economische groei door de Staat van New York.“ zullen spelen

Robert P. Oates, Uitvoerende Ondervoorzitter, de Apparatuur van het Proces Veeco, becommentarieerde, blijft het Systeem van het Deposito van de Ionenstraal LDD van de SAMENHANG van Veeco („R) de capaciteit om het lage deposito van de tekortdichtheid, maar ook de nauwkeurige vereiste controle aantonen voor het kritieke werk zoals photomask deposito niet alleen te verstrekken EUV. Wij zijn pleased blijven werkend bij het dit belangrijke onderzoek met SEMATECH door zijn Internationaal Programma van het sematech- Noorden op het Expertisecentrum van de Staat van New York In Nanoelectronics en Nanotechnologie bij de Universiteit van Albany van Wetenschap Nanoscale en Techniek. Wij zijn ook dankbaar aan Gouverneur Spitzer en de Staat van New York voor de significante investeringen in universitaire onderzoek en geavanceerd technische introductie op de markt.“

Sinds 2002, heeft ISMTN ook ongeveer $10 miljoen aan een aantal universiteiten in New York verstrekt om onderzoeksprogramma's met hoog potentieel voor significante resultaten in kennisverwezenlijking en verspreiding te financieren, en Ph.D. en M.S te produceren. - niveauwetenschappers en onderzoekers om de uitbreidende nanoelectronicscluster in New York te bemannen.

Last Update: 15. January 2012 06:39

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit