SEMATECH Välj Veeco för $ 2.4m Extreme Ultraviolet Litografi Project

Published on April 23, 2007 at 11:17 PM

SEMATECH, världens ledande nanoelektronik konsortium, och College of nanovetenskap och teknik ("CNSE") vid universitetet i Albany, hem till New York State Center of Excellence inom nanoelektronik och nanoteknologi ("CENN"), tillkännagav idag att Internationella SEMATECH North ("ISMTN") har valt Woodbury, NY-baserade Veeco Instruments Inc. för en extra $ 2.400.000 projekt som kommer att ge kritisk forskning och utveckling som behövs för att extrem ultraviolett ("EUV") litografi för avancerad tillverkning.

Veeco, en ledande leverantör av mätteknik och processutrustning lösningar för nanoelektronik branschen, kommer att erhålla finansiering från SEMATECH att ytterligare utveckla sin Ion Tool Beam Deposition, som är en del av ISMTN Mask Blank Development Center ("MBDC"), som ligger vid CNSE CENN. Eftersom Internationella SEMATECH Norths starten 2002 har Veeco fått nästan $ 19 miljoner finansiering för Ion Beam produkter och FoU-program.

Ion Beam Deposition verktyg används vid tillverkning av masken blanka - bas material för stencil-liknande fotomasker som används för att beskriva mönster på nanoelektronik rån - och är nödvändig för nedfall av ultra-tunna lager av material som efterfrågas i EUV tillverkningsprocessen. Veeco Ion Beam deposition produkter är branschledande i hög filmkvalitet, med extremt låg partikelbeläggning och exakt kontroll av optiska egenskaper för en eller flera skikt processer. Båda är avgörande för att producera avancerade EUV fotomasker.

Sedan dess läge vid CNSE CENN plats 2002, har ISMTN genererat någon direkt ekonomisk effekt på 320.000.000 $ och skapat över 1650 högteknologiska jobb i New York, både på plats och via ett nätverk av mer än 330 partner, leverantörer och samarbete företag spridda över staten New York - 228 av vilka (mer än två tredjedelar) är belägna utanför huvudstadsregionen, däribland 36 i New York City, 39 i Finger Lakes regionen, 27 i Niagara Frontier, och 43 på Long Island.

SEMATECH VD och koncernchef Michael R. Polcari sade: "Så SEMATECH pressar aggressivt för att klara extrem ultraviolett litografi för avancerad tillverkning, vår förmåga att arbeta med Statewide infrastruktur nanoelektronik fokuserad-i världsklass företag i hela New York är avgörande för vår framgång. Denna senaste projekt med Veeco, i samförstånd med de hundratals New York-företag som vi arbetar med, är som används för att påskynda forskning och utveckling som är avgörande både för den framtida EUV litografi och den globala nanoelektronik branschen. "

CNSE Vice President och Chief Administrative Officer Dr Alain E. Kaloyeros sa, "Som en viktig ankarhyresgäst av New York State Center of Excellence inom nanoelektronik och nanoteknik och UAlbany NanoCollege har SEMATECH arbetat hand i hand med NanoCollege att vårda och bygga en Statewide nätverk av hundratals New York bolag att avancera avancerad, högteknologisk forskning, utveckling och initiativ kommersialisering. I processen är SEMATECH-CNSE partnerskap bygga ett nanoteknik kunniga kultur och nätverk av välutbildade människor och konkurrenskraftiga företag som kommer att spela en avgörande roll för att locka framtidens högteknologiska arbetstillfällen, investeringar och ekonomisk tillväxt i hela staten New York. "

Robert P. Oates, vice VD, Veeco processutrustning, kommenterade, "Veeco Nexus (R) LDD jonstråle Deposition systemet fortsätter att visa förmåga att inte bara låga nedfall defekt täthet, men också exakt kontroll krävs för kritiska arbeten såsom som EUV fotomasker nedfall. Vi är glada att fortsätta arbetet med denna viktiga forskning med SEMATECH genom sitt internationella SEMATECH Norr-programmet vid New York State Center of Excellence inom nanoelektronik och nanoteknologi vid Albanys College of nanovetenskap och teknik. är också tacksamma för guvernören Vi Spitzer och delstaten New York för betydande investeringar i universitetets forskning och högteknologi kommersialisering. "

Sedan 2002 har ISMTN gav också cirka 10 miljoner dollar till ett antal universitet i New York för att finansiera forskningsprogram med hög potential för betydande resultat i kunskapsuppbyggnad och spridning, och att producera Ph.D. och MS-forskare och forskare för att personalen den expanderande nanoelektronik klustret i New York.

Last Update: 6. October 2011 22:07

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit