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SEMATECH 为 $2.4m 极其紫外石版印刷项目选择 Veeco

Published on April 23, 2007 at 11:17 PM

SEMATECH、领先世界的 nanoelectronics 财团和学院 Nanoscale 科学和工程 (“CNSE”) 阿尔巴尼、家纽约州成就卓越中心的在 Nanoelectronics 和纳米技术的 (“CENN”) 大学,今天宣布了国际 SEMATECH 北部 (“ISMTN”) 为将提供必要重要的研究与开发启用先进的制造的极其紫外的一个另外的 $2.4 百万项目选择了 Woodbury, NY-based Veeco Instruments Inc. (“EUV”) 石版印刷。

Veeco,计量学和处理设备解决方法一位主导的提供者 nanoelectronics 行业的,从 SEMATECH 将接受资助进一步开发其离子束证言工具,是 ISMTN 的屏蔽空白开发中心 (“MBDC”的) 一部分,位于 CNSE CENN。 从国际 SEMATECH 北部的开始,在 2002年 Veeco 接受了接近 $19 百万在离子束产品和研究和发展计划的资助。

离子束证言工具用于屏蔽空白的制造 - 用于描述在 nanoelectronics 薄酥饼的模式 - 的象钢板蜡纸的光掩膜的基本材料并且对材料的超薄的层的证言是重要的在 EUV 制造过程中被需求。 Veeco 的离子束证言产品导致行业进入高影片质量,以极低的属于颗粒的证言和光学性能为特色准确的控制唯一或多层进程的。 两个为生产先进的 EUV 光掩膜是重要的。

从其 CNSE CENN 站点的地点,在 2002年 ISMTN 生成了直接经济影响的 $320 百万和创建 1,650 个高科技工作在纽约,本地,并且通过网络超过 330 成为伙伴,在纽约和合作公司分布的供应商州 228 (超过三分之二) 在资本区域之外,包括 36 纽约, 39 位于 Finger 湖区域, 27 在尼亚加拉边境和 43 在长岛。

SEMATECH 的迈克尔总裁兼 CEO R. Polcari 说, “SEMATECH 积极地推进为先进的制造准备极其紫外石版印刷,我们的能力与 nanoelectronics 集中的,国际水平的公司一起使用全州基础设施遍及纽约对我们的成功至关重要。 这与 Veeco 的最新的项目,协力数百纽约公司我们从事与,服务加速对远期是重要的两个 EUV 石版印刷和全球 nanoelectronics 行业的研究与开发”。

CNSE 阿兰 E. Kaloyeros 副总统和首席行政官博士说, “作为纽约州成就卓越中心的一个关键锚点承租人在 Nanoelectronics,并且纳米技术和 UAlbany NanoCollege, SEMATECH 手拉手与 NanoCollege 一起使用哺育和建立数百一个全州网络纽约公司提前最尖端,高科技研究、发展和商品化主动性。 在这个进程中, SEMATECH-CNSE 合伙企业建立在吸引将来的高科技工作、投资和经济增长将扮演重要作用在纽约州中高度训练的人员和竞争公司的一个 nanotech 精明的文化和网络”。

罗伯特 P. Oates,行政副总裁, Veeco 处理设备,被评论, “Veeco 的连结 (R) LDD 离子束证言系统继续展示这个能力提供不仅仅低缺陷密度证言,而且对于重要工作是必需的这个准确的控制例如 EUV 光掩膜证言。 我们在 Nanoelectronics 高兴地持续从事在与 SEMATECH 的此重要研究通过其国际 SEMATECH 北部程序在纽约州成就卓越中心和纳米技术在阿尔巴尼的学院 Nanoscale 科学和设计。 我们也是感恩的对州长 Spitzer 和纽约州重大的投资的在大学研究和高技术商品化”。

自 2002年以来, ISMTN 也提供大约 $10 百万给一定数量的大学在纽约资助研究方案以高潜 在知识创建的重大的结果的和传播和生产 Ph.D 和 M.S. 级的科学家和研究员给扩展 nanoelectronics 字符串雇用职员在纽约。

Last Update: 15. January 2012 00:04

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