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JEOL, Genisys y la Universidad Cornell forman Sociedad del Revelado de la Nanotecnología

Published on June 5, 2007 at 2:56 AM

GenISys GmbH, un proveedor del software para la optimización de los procesos de la fabricación de la microestructura que se centran en el e-haz directo escribe, hoy anunciado le ha formado una sociedad del revelado de tecnología con JEOL, Ltd. , y Ciencia de Nanoscale de la Universidad Cornell y Recurso de la Tecnología. Junto, las tres organizaciones están colaborando para desarrollar las soluciones avanzadas para directo escriben la preparación y el electrón de datos del e-haz las tecnologías de proceso de la corrección (nano-EPC) para las estructuras del nanómetro-rango.

En esta sociedad, cada organización leveraging su experiencia y recursos únicos. Trabajando con JEOL, GenISys está optimizando su preparación de datos de alto rendimiento del Plan BEAMER y software de la CPE para maximizar funcionamiento en los sistemas de gama alta de la litografía del e-haz del vendedor de dotación física. Como uno de los centros de investigación de cabeza del nanoscale del mundo, la Ciencia de Cornell Nanoscale y el Recurso de la Tecnología está proporcionando a la dirección en la puesta en vigor y las estrategias de desarrollo, leveraging su trabajo sobre los nanostructures usados en microelectrónica, la óptica, aplicaciones biomédicas y otras funciones.

El Trabajo sobre el acuerdo del tres-destacamento ha estado en curso por cerca de seis meses, con un enfoque en las estructuras de unos 10 nanómetros o menos. Estas estructuras extremadamente pequeñas se fabrican con solamente algunos pulsos del programa de escritura del haz electrónico, creando una necesidad de la uniformidad sin precedente, estado coherente y la colocación. Las Conclusión de la colaboración de Cornell-JEOL han activado ya las mejoras del Plan BEAMER del software de GenISys, que ahora incluye un algoritmo que corrija los artefactos de la impresión de esta matriz discreta de la escritura. Las versiones Futuras podrán explicar efectos adicionales de la máquina y del proceso. La solución de GenISys nano-EPC representa un avance importante sobre la tecnología de programación de 20 años que se ha utilizado para la preparación y la corrección de datos del e-haz.

“Los utilizadores del e-haz directos escriben a necesidad las soluciones urgentes de la preparación de datos avanzada y la corrección para las aplicaciones del nanostructure. La cooperación fuerte del vendedor del equipo, del utilizador y del proveedor de software es dominante para estos progresos. Somos muy afortunados colaborar con JEOL y Recurso de la Ciencia y de la Tecnología de Cornell Nanoscale,” dijo a Ulrich Hofmann, fundador y director general de GenISys. “Estas organizaciones están promoviendo el estado plus ultra en la nanofabricación y proporcionan al foro ideal para el revelado y la extensión adicionales del Plan BEAMER. La alta adaptabilidad, la correspondencia y la combinación única del software y del conocimiento de la aplicación del e-haz permitirán a GenISys entregar las soluciones que el mercado está esperando.”

“JEOL ha intentado siempre proporcionar a las herramientas más flexibles del e-haz en el mercado, y la entrada de información que recibimos de las personas en Cornell es una contribución enorme a nuestros esfuerzos de revelado. Con GenISys como socio, tendremos más visibilidad en la cara de la preparación de datos de la nanofabricación y nos beneficiaremos de la colaboración con sus especialistas excepcionales,” dijo a Katsuya Watanabe, gerente de ventas de JEOL, hablando en la reunión de Grupo del Utilizador de la compañía celebrada conjuntamente con la Conferencia Internacional sobre Electrónico, Ión, y Tecnología y Nanofabricación del Haz de Fotón en Denver, CO, el 29 de mayo - 1 de junio de 2007.

El “Plan BEAMER nos ha creado una diferencia de potencial con su calidad de fácil utilización y total de resultados. La velocidad, la correspondencia y la adaptabilidad rápidas del revelado de GenISys activan la puesta en vigor de nuevas tecnologías que necesitamos aumentar nuestras capacidades de nano-estructuración del e-haz. Estamos alegres tener la ocasión de explorarla más lejos y aplicarla a nuestros esfuerzos de revelado interdisciplinarios,” dijo Rob Ilic, el socio de investigación y al program manager del utilizador de la Ciencia de Cornell Nanoscale y del Recurso de la Tecnología. “Con más de 700 utilizadores que vienen a nuestro recurso anualmente, hacemos una gran cantidad de preparación de datos del e-haz, y esta colaboración nos ayudará a proporcionar a un mejores servicio y resultados, así como aprende más sobre el futuro del proceso.”

Last Update: 17. January 2012 10:43

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