Tegal Corporation , en førende designer og producent af plasma etch og deposition systemer, der anvendes i produktionen af integrerede kredsløb, MEMS, og nanoteknologi enheder, meddelte i dag, at det har leveret en ekstra 901ACS enhed til en førende opto-halvleder / LED-producent til at understøtte kapaciteten ekspansion for belysning og optisk sensor enhed produktion. Den nye Tegal 901ACS-system tilføjer til kundens eksisterende installerede base af 900-serien etch systemer.
Murali Narasimhan, Vice President - Markedsføring af Tegal Corporation, sagde: "High Brightness lysdioder er almindeligt anerkendt som værende innovative lyskilder kompatible med den grønne fremtid, der tilbyder de vigtige energibesparende fordele ved et lavt strømforbrug og lav varmeafgivelse. Derudover kompakte dimensioner HB-lysdioder, og deres form-faktor fleksibilitet, åbner døren til at gøre æstetiske forbedringer for belysning i bilindustrien, aeronautiske, kommercielle og hjem miljøer. Denne opfølgning på forsendelse til 901ACS produktionsværktøj viser vores kunders høje grad af tilfredshed med arbejdshest Tegal 900-serie produktion etchers. Disse værktøjer giver de laveste omkostninger ved ejerskab for mange etch applikationer i særdeles omkostningseffektiv følsomme område, som IC-produktionsmetoder for forbrugerelektronik. "
Den Tegal 901ACS er den seneste i en serie af diode plasma etch systemer produceret af Tegal, industrien pioner inden for kommerciel single-wafer plasma ætsning. Over 1.500 systemer i 900-serien er blevet sendt til dato, hvilket giver pålidelig og omkostningseffektiv støtte til en bred vifte af plasma etch processer. Den Tegal 900ACS serien er optimeret til pad, nul lag, non-selektiv nitrid, bagsiden, og planarization ætsning, samt for oxid, nitrid, poly, og sammensatte materialer ansøgninger om HB-LED, MEMS, og Optoelektroniske enhed fabrikation. Den 900ACS Series-platformen indeholder en produktion gennemprøvet transportsystem, der kan rumme 75 mm til 200 mm runde, kvadratiske eller rektangulære substrater.
Også at bemærke, Advanced Control System (ACS) opgradering er tilgængelig udelukkende fra Tegal som et felt eller fabrik til eftermontering i den eksisterende installerede base af 900 og 980-serien systemer. ACS har et fuldt integreret grafisk brugerflade, parametrisk datalogning, fuld fabriks automatisering støtte, og throughput forbedringer for wafer-håndtering system.