Tegal Corporation, ein führender Designer und Hersteller der Plasmaätzung und der Absetzungsanlagen verwendet in der Produktion von integrierten Schaltungen, MEMS und Nanotechnologieeinheiten, heute angekündigt, dass sie ein zusätzliches Gerät 901ACS zu einem führenden Optohalbleiter/LED Hersteller versendet hat, um Kapazitätserweiterung für das Beleuchten und optische Fühlereinheitsproduktion zu unterstützen. Die neue Anlage Tegal 901ACS fügt der existierenden eingebauten Basis des Abnehmers von Ätzungsanlagen mit 900 Serien hinzu.
Murali Narasimhan, Vizepräsident - Marketing von Tegal Corporation, sagte: „Hohe Helligkeit LED werden überall als seiend die innovativen Lichtquellen anerkannt, die mit der grünen Zukunft kompatibel sind und bieten den wichtigen Energieeinsparungsnutzen der Leistungsaufnahme der geringen Energie und der niedrigen thermischen Ausgabe an. Zusätzlich öffnet die kompakten Abmessungen von HB-LED und ihre Formularfaktor Flexibilität, die Klappe zur Herstellung von ästhetischen Verbesserungen für das Beleuchten in den Automobil-, Luftfahrt-, Handels- und familiären Umgebungen. Dieser Folgeversand für das Hilfsmittel der Produktion 901ACS zeigt dem hohen Maß unseres Abnehmers Zufriedenheit mit dem Arbeitspferd Tegal Etchers die Produktion mit 900 Serien. Diese Hilfsmittel bieten das preiswerteste des Besitzes für viele Ätzungsanwendungen im in hohem Grade Kostenheiklen gebiet von IS-Produktion für Unterhaltungselektronik.“ an
Das Tegal 901ACS ist in einer Reihe von den Diodenplasma-Ätzungsanlagen das späteste, die durch Tegal produziert werden, dem Industriepionier in der Handels-einzelWafer Plasmaradierung. Über 1.500 Anlagen in der 900 Serie sind bis jetzt versendet worden und zuverlässige und kosteneffektive Halterung für eine große Auswahl von Plasmaätzungsprozessen gewährt. Die Serie Tegal 900ACS wird für Auflage, nullschicht, nicht selectives Nitrid, Rückseite und planarization Radierung sowie für das Oxid, Nitrid, Poly und Verbundmaterialanwendungen für HB-LED, MEMS und Optoelektronische Einheitsfälschung optimiert. Die Plattform der Serie 900ACS enthält ein Produktion-erwiesenes Verkehrssystem, das die 75-mm- bis 200 mm-Runden-, quadratische oder rechteckigesubstratflächen anpassen kann.
Auch von der Anmerkung, ist die Hoch entwickelte (ACS) Kontrollsystemverbesserung ausschließlich von Tegal als Bereich- oder Fabrikumbau für die existierende eingebaute Basis von Anlagen mit 900 und 980 Serien erhältlich. Das ACS kennzeichnet eine völlig integrierte grafische Benutzeroberfläche, parametrische eine Datenerfassung, volle eine Produktionsautomatisierungshalterung und Durchsatzverbesserungen für die Wafer-handhabende Anlage.