Tegal Corporation , un diseñador y fabricante líder de sistemas de grabado de plasma y la deposición utilizado en la producción de circuitos integrados, MEMS, y los dispositivos de la nanotecnología, ha anunciado hoy que ha enviado una unidad de 901ACS adicional a uno de los principales opto-semiconductores / fabricante de LED para apoyar la capacidad expansión para la iluminación y la producción de un sensor óptico del dispositivo. El nuevo sistema de 901ACS Tegal añade a la base instalada existente de los clientes de 900 sistemas de la serie etch.
Murali Narasimhan, Vicepresidente - Comercialización de Tegal Corporation, dijo: "LEDs de alto brillo son ampliamente reconocidos como las fuentes de luz innovadoras compatibles con el futuro más verde, que ofrece las ventajas de la energía importancia para la conservación de bajo consumo de energía y producción térmica baja. Además, las dimensiones compactas de HB-LED, y su flexibilidad de factor de forma, abre la puerta a mejoras estéticas para la iluminación en la industria automotriz, aeronáutica ambientes, comercial, y el hogar. Este envío de seguimiento de la herramienta de producción 901ACS muestra alto nivel de nuestros clientes de satisfacción con el caballo de batalla Tegal 900 grabadores de la serie de producción. Estas herramientas ofrecen el menor costo de propiedad para muchas aplicaciones de grabado en el área altamente sensible de costos de producción de circuitos integrados de electrónica de consumo. "
El 901ACS Tegal es el último de una serie de sistemas de plasma diodo grabado producido por Tegal, el pionero de la industria en el grabado de plasma comercial única oblea. Más de 1.500 sistemas de la serie 900 han sido entregadas hasta la fecha, la prestación de apoyo fiable y rentable para una amplia gama de procesos de grabado de plasma. La serie 900ACS Tegal está optimizado para almohadilla, cero capa, no selectivo nitruro, hacia atrás, y el grabado planarization, así como de óxido, nitruro, poli, y materiales compuestos para aplicaciones de HB-LED, MEMS, y la fabricación de dispositivos optoelectrónicos. La plataforma de la Serie 900ACS incorpora un sistema de transporte de la producción-probado que puede acomodar a 75 mm a 200 mm ronda, soportes cuadrados o rectangulares.
También de la nota, el sistema de control avanzado (ACS) de actualización está disponible exclusivamente en Tegal como un campo o una fábrica de adaptación para la base instalada de 900 y 980 sistemas de la serie. La ACS cuenta con una interfaz totalmente gráfica de usuario, registro de datos paramétricos, soporte completo de automatización de fábricas, y las mejoras de rendimiento para el sistema de manejo de obleas.