Tegal Corporation , un important concepteur et fabricant de systèmes de gravure au plasma et le dépôt utilisées dans la production de circuits intégrés, les MEMS, les nanotechnologies et les appareils, a annoncé aujourd'hui qu'elle a livré une unité supplémentaire d'un leader 901ACS opto-semiconducteur / constructeur LED pour soutenir la capacité d'expansion pour l'éclairage et la production dispositif de capteur optique. Le nouveau système de Tegal 901ACS ajoute existant du client base installée de 900 systèmes de la série etch.
Murali Narasimhan, vice-président - Marketing de Tegal Corporation, a déclaré: "Les LED haute luminosité sont largement reconnus comme étant des sources de lumière innovantes compatibles avec le futur vert, offrant les avantages importants de la conservation de l'énergie basse consommation et faible dissipation thermique. De plus, les dimensions compactes de HB-LED, et leur facteur de forme de flexibilité, ouvre la porte à des améliorations esthétiques pour l'éclairage dans l'automobile, l'aéronautique, les environnements commerciaux, et la maison. Cet envoi de suivi pour l'outil de production 901ACS montre haut degré de nos clients de satisfaction à l'outil de travail Tegal 900 graveurs production en série. Ces outils offrent le plus faible coût de propriété pour de nombreuses applications de gravure dans le domaine très sensibles au coût de production de circuits intégrés pour l'électronique grand public. "
Le 901ACS Tegal est le dernier d'une série de systèmes plasma etch diodes produites par Tegal, le pionnier de l'industrie dans la gravure plasma commerciale unique galette. Plus de 1.500 systèmes de la série 900 ont été livrées à ce jour, fournissant un soutien fiable et rentable pour un large éventail de procédés de gravure par plasma. La série Tegal 900ACS est optimisé pour pad, nulle couche, non sélective de nitrure, un backside, et la gravure de planarisation, ainsi que pour l'oxyde, nitrure, poly, et les matériaux composites pour les applications LED HB-, MEMS et la fabrication de dispositifs optoélectroniques. La plate-forme Series 900ACS intègre un système de transport de production éprouvée qui peut accueillir 75 à 200 mm ronde, carrée ou rectangulaire substrats.
A noter également, le système avancé de contrôle (AEC) mise à jour est disponible exclusivement chez Tegal comme un champ ou une usine de modernisation de la base installée existante de systèmes de la série 900 et 980. L'ACS dispose d'une interface utilisateur entièrement graphique intégré, les données paramétriques d'exploitation forestière, le support complet d'automatisation d'usine, et des améliorations de débit pour le système de manutention de plaquettes.