Tegal Corporation , leader nella progettazione e produzione di sistemi di deposizione al plasma etch e utilizzati nella produzione di circuiti integrati, MEMS e dispositivi di nanotecnologia, ha annunciato oggi di aver spedito una unità aggiuntiva 901ACS ad un leader opto-semiconduttori / produttore LED a sostenere la capacità espansione per l'illuminazione e la produzione di dispositivi ottici del sensore. Il nuovo sistema di Tegal 901ACS aggiunge alla già istallate del cliente di 900 sistemi della serie etch.
Murali Narasimhan, Vice Presidente - Commercializzazione di Tegal Corporation, ha dichiarato: "LED di potenza sono ampiamente riconosciuti come sorgenti luminose innovative compatibili con il futuro verde, che offre importanti benefici il risparmio energetico di bassi consumi e bassa emissione termica. Inoltre, le dimensioni compatte di HB-LED, e la loro forma-fattore di flessibilità, apre le porte ad apportare miglioramenti estetici per l'illuminazione nel settore automobilistico, aeronautico, ambienti commerciali, e la casa. Questo follow-on spedizione per lo strumento di produzione 901ACS mostra un alto grado nostri clienti di soddisfazione con il cavallo di battaglia Tegal incisori della serie 900 di produzione. Questi strumenti offrono il più basso costo di proprietà per molte applicazioni etch in un'area altamente sensibile ai costi di produzione di circuiti integrati per l'elettronica di consumo. "
Il 901ACS Tegal è l'ultimo di una serie di sistemi al plasma diodo etch prodotto da Tegal, il pioniere nel settore commerciale a singolo wafer incisione al plasma. Oltre 1.500 sistemi della serie 900 sono stati spediti ad oggi, fornendo un supporto affidabile e conveniente per una vasta gamma di processi plasma etch. La serie Tegal 900ACS è ottimizzato per il pad, zero strato, nitruro di non selettivo, sul retro, e incisione planarization, così come per l'ossido, nitruro di poli e materiali compositi per applicazioni HB-LED, MEMS e fabbricazione di dispositivi optoelettronici. La piattaforma Serie 900ACS incorpora una produzione collaudato sistema di trasporto che può ospitare 75 mm a 200 mm tondo, substrati quadrata o rettangolare.
Da notare anche, l'Advanced Control System (ACS), l'aggiornamento è disponibile esclusivamente da Tegal come un campo o in fabbrica retrofit per l'attuale base installata di 900 e 980 sistemi della serie. L'ACS è dotato di un'interfaccia utente grafica completamente integrato, registrazione di dati parametrici, supporto completo automazione di fabbrica, e miglioramenti di throughput per il wafer-sistema di gestione.