つくことおよび光学センサー装置生産のための容量の拡張をサポートするために一流の opto 半導体/LED の製造業者に追加 901ACS 単位を出荷したことを集積回路、 MEMS の生産で、および今日発表されるナノテクノロジー装置、使用される血しょう腐食および沈殿システムの Tegal Corporation、主導的なデザイナーおよび製造業者。 Tegal 新しい 901ACS システムは顧客の 900 のシリーズ腐食システムのあるインストールベースに追加します。
副大統領、 Murali Narasimhan - Tegal Corporation のマーケティングは、言いました: 「高い明るさ LEDs は認識され低い電力の消費および低い熱出力の重要なエネルギー保存の利点を提供する緑の未来と互換性がある革新的な光源ですとして広く。 さらに、 Hb LEDs のコンパクトな次元、および形式要因柔軟性は自動車、航空、商業、およびホーム環境でつくことのための審美的な改善に、ドアを開きます。 901ACS 生産のツールのためのこの後続の郵送物は私達の顧客の役馬 Tegal との満足の高度に 900 のシリーズ生産の etchers を示します。 これらのツールは非常に提供します家電のための IC の生産の費用の情報焦点地域の多くの腐食のアプリケーションのための所有権の低価格を」。
Tegal 901ACS は Tegal によって作り出される一連のダイオード血しょう腐食システム商業単一ウエファー血しょうエッチングの企業の開拓者の最新です。 900 のシリーズの 1,500 のシステムに今までに出荷され、信頼でき、費用有効サポートを血しょう腐食プロセスの広い範囲に提供します。 Tegal 900ACS シリーズはパッド、ゼロ層、非選択窒化物、裏側および planarization のエッチングのために、また酸化物、窒化物、多のために、および HB-LED、 MEMS および光電子工学装置製造のための混合材料のアプリケーション最適化されます。 900ACS シリーズプラットホームは 75 の mm から 200 の mm の円形の、正方形または長方形の基板を取り扱うことができる生産証明された交通機関を織込んでいます。
またノートの、高度制御システムの (ACS)アップグレードは 900 そして 980 の直列システムのあるインストールベースのためにフィールドまたは工場改装として Tegal から専ら使用できます。 ACS はウエファー処理システムのための十分に統合されたグラフィカルユーザーインタフェース、パラメーター付きデータロギング、完全な工場自動化サポートおよびスループット機能拡張を特色にします。