점화 및 광학적인 센서 장치 생산을 위한 수용량 확장을 지원하기 위하여 주요한 opto 반도체/LED 제조자에 추가 901ACS 부대를 발송했다는 것을 직접 회로, MEMS의 생산에서, 그리고 오늘 알려지는 나노 과학 장치, 이용되는 플라스마 식각과 공술서 시스템의 Tegal Corporation, 수석 디자이너 및 제조자. Tegal 새로운 901ACS 시스템은 고객의 900의 시리즈 식각 시스템의 존재 설치된 기지에 추가합니다.
부사장, Murali Narasimhan - Tegal Corporation의 매매는, 밝혔습니다: "높은 광도 LEDs는 낮은 전력 소비 및 낮은 열 산출의 중요한 에너지 보존 이득을 제안하는 녹색 미래와 호환이 되는 혁신적인 광원인 것으로 넓게 인식됩니다. 게다가, HB LEDs의 조밀한 차원, 및 그들의 양식 요인 융통성은 자동, 항공학, 상업 적이고, 그리고 가정 환경에서 점화를 위한 심미적인 향상시키기에, 문을 엽니다. 901ACS 생산 공구를 위한 이 수행 선적은 우리의 고객의 사역마 Tegal를 가진 만족의 고차에게 900의 시리즈 생산 동판 화가를 보여줍니다. 이 공구는 높게 제안합니다 소비자 전자공학을 위한 IC 생산의 비용 민감한 부분에 있는 많은 식각 응용을 위한 소유권의 가장 값이 싼 것."
Tegal 901ACS는 Tegal에 의해 일어난 일련의 다이오드 플라스마 식각 시스템, 상업적인 단 하나 웨이퍼 플라스마 에칭에 있는 기업 개척자에서 최신입니다. 900의 시리즈에 있는 1,500의 시스템 이상 현재까지 발송되, 믿을 수 있고는 비용 효과적인 지원을 플라스마 식각 프로세스의 광범위를 제공하. Tegal 900ACS 시리즈는 패드, 영 층, 비 선택적인 질화물, 후부 및 planarization 에칭을 위해, 뿐 아니라 산화물, 질화물, 많은을 위해, 및 HB-LED, MEMS 및 광전자 공학 장치 제작을 위한 합성 물자 응용 낙관됩니다. 900ACS 시리즈 플래트홈은 75 mm에서 200 mm 라운드, 정연한 또는 직사각형 기질을 수용할 수 있는 생산 증명한 수송 시스템을 편입합니다.
또한 주의, 고급 제어 시스템 (ACS) 향상은 900 그리고 980의 직렬 시스템의 존재 설치된 기지를 위해 필드 또는 공장 개조로 Tegal에서 독점적으로 가능합니다. ACS는 웨이퍼 취급 시스템을 위한 완전히 통합 그래픽 사용자 인터페이스, 매개 변수 자료 기록, 가득 차있는 공장 자동화 지원 및 처리량 증진을 특색짓습니다.