Tegal Corporation , een toonaangevende ontwerper en fabrikant van plasma-etsen en depositie systemen die worden gebruikt bij de productie van geïntegreerde schakelingen, MEMS en nanotechnologie apparaten, heeft vandaag aangekondigd dat het een extra 901ACS eenheid verzonden naar een toonaangevende opto-halfgeleider / LED fabrikant om de capaciteit te ondersteunen uitbreiding voor verlichting en optische sensor-apparaat de productie. De nieuwe Tegal 901ACS systeem toevoegt aan de bestaande van de klant installed base van de 900-serie etsen systemen.
Murali Narasimhan, Vice President - Verkoop van Tegal Corporation, zei: "High Brightness LED's worden alom erkend als innovatieve lichtbronnen compatibel is met de groene toekomst, het aanbieden van de belangrijke energie-behoud voordelen van het lage stroomverbruik en lage warmte-output. Daarnaast is de compacte afmetingen van de HB-LED's, en de vorm-factor flexibiliteit, opent de deur naar het maken van esthetische verbeteringen voor de verlichting in de automotive, luchtvaart, commerciële en huiselijke omgeving. Deze follow-on verzending voor de 901ACS productie-instrument geeft onze klanten een hoge mate van tevredenheid met het werkpaard Tegal 900 Serieproductie etsers. Deze tools bieden de laagste cost of ownership voor vele etsen toepassingen in de zeer kosteneffectief gevoelige gebied van de IC-productie voor consumenten-elektronica. "
De Tegal 901ACS is de laatste in een reeks van diode plasma-etsen-systemen die door Tegal, de pionier in de commerciële single-wafer plasma-etsen. Meer dan 1500 systemen in de 900-serie zijn verzonden tot op heden, het verstrekken van betrouwbare en kosteneffectieve ondersteuning voor een breed scala van plasma etsen processen. De Tegal 900ACS-serie is geoptimaliseerd voor pad, nul lagen, niet-selectieve nitride, achterzijde en etsen Vlak ontwerp, alsmede voor oxide, nitride, poly, en samengestelde materialen toepassingen voor HB-LED, MEMS, en opto-elektrische apparaat fabricage. De 900ACS Series-platform is voorzien van een productie-bewezen transport systeem dat 75 mm kan plaats bieden aan 200 mm rond, vierkant of rechthoekig substraten.
Ook te worden opgemerkt, de Advanced Control System (ACS) upgrade is exclusief verkrijgbaar bij Tegal als een veld of in de fabriek retrofit voor de bestaande installed base van 900 en 980-serie systemen. De ACS beschikt over een volledig geïntegreerde grafische user interface, parametrische data logging, volledige factory automation ondersteuning en doorvoer verbeteringen voor de wafer-handling-systeem.