Tegal Corporation , en ledende designer og produsent av plasma etse og deponering systemer som benyttes i produksjon av integrerte kretser, MEMS, og nanoteknologi enheter, kunngjorde i dag at selskapet har levert en ekstra 901ACS enhet til en ledende opto-halvleder / LED produsenten for å støtte kapasitet ekspansjon for belysning og optisk sensor enhet produksjon. Det nye Tegal 901ACS system legger til kundens eksisterende installerte base av 900 Series etch systemer.
Murali Narasimhan, Vice President - Markedsføring av Tegal Corporation, sa: "High lysstyrke LED er allment anerkjent som nyskapende lyskilder kompatibel med grønn framtid, og tilbyr den viktige energisparing fordelene med lavt strømforbruk og lav termisk effekt. I tillegg åpner de kompakte dimensjonene på HB-LED, og deres form-faktoren fleksibilitet, døren til å gjøre estetiske forbedringer for belysning i bilindustrien, aeronautiske, kommersielle og hjem miljøer. Dette oppfølging på forsendelsen for 901ACS produksjonen verktøyet viser våre kunders høye graden av tilfredshet med arbeidshesten Tegal 900 Series produksjon etchers. Disse verktøyene gir de laveste eierkostnadene for mange etch programmer i svært kostnadseffektiv sensitive området av IC produksjon for forbrukerelektronikk. "
Den Tegal 901ACS er den siste i en serie av diode plasma etch systemer produsert av Tegal, bransjens pioner i kommersielle single-wafer plasma etsing. Over 1500 anlegg i 900-serien har blitt sendt til nå, gir pålitelig og kostnadseffektiv støtte for et bredt spekter av plasma etch prosesser. Den Tegal 900ACS serien er optimalisert for pad, null lag, ikke-selektive nitride, backside, og planarization etsing, samt for oksid, nitride, poly og sammensatte materialer søknader om HB-LED, MEMS, og Optoelektronisk enhet fabrikasjon. Den 900ACS Series-plattformen har en produksjons-bevist transportsystem som kan romme 75 mm til 200 mm runde, kvadratiske eller rektangulære underlag.
Også oppmerksom på, er Advanced Control System (ACS) oppgradering tilgjengelig utelukkende fra Tegal som et felt eller en fabrikk til ettermontering i eksisterende installerte base av 900 og 980 serie systemer. ACS har et fullt integrert grafisk brukergrensesnitt, parametrisk datalogging, full fabrikk automasjon støtte, og gjennomstrømming forbedringer for wafer-håndteringssystem.