Tegal Corporaçõ, um desenhista principal e fabricante gravura em àgua forte do plasma e dos sistemas do depósito usados na produção dos circuitos integrados, MEMS, e os dispositivos da nanotecnologia, anunciados hoje que enviou uma unidade 901ACS adicional a um fabricante principal do opto-semicondutor/DIODO EMISSOR DE LUZ para apoiar a expansão da capacidade para a iluminação e a produção óptica do dispositivo do sensor. O sistema novo de Tegal 901ACS adiciona à base instalada existente do cliente de sistemas gravura em àgua forte de 900 Séries.
Murali Narasimhan, Vice-presidente - o Mercado de Tegal Corporaçõ, disse: “Os Diodos emissores de luz do Brilho Alto são reconhecidos extensamente como sendo fontes luminosas inovativas compatíveis com o futuro verde, oferecendo os benefícios importantes da conservação de energia do consumo da baixa potência e da baixa saída térmica. Adicionalmente, as dimensões compactas de HB-Diodo emissor de luz, e sua flexibilidade do factor de formulários, abrem a porta a fazer melhorias estéticas para iluminar-se em ambientes familiares automotivos, aeronáuticos, comerciais, e. Esta expedição da continuação para a ferramenta da produção 901ACS mostra ao alto nível do nosso cliente da satisfação com o laborioso Tegal etchers da produção de 900 Séries. Estas ferramentas oferecem o mais barato da posse para muitas aplicações gravura em àgua forte altamente na área delicada do custo da produção do IC para produtos electrónicos de consumo.”
O Tegal 901ACS está o mais atrasado em uma série de sistemas gravura em àgua forte do plasma do diodo produzidos por Tegal, do pioneiro da indústria gravura a água-forte comercial do plasma da único-bolacha. Sobre 1.500 sistemas nas 900 Séries foram enviados até agora, fornecendo o apoio seguro e eficaz na redução de custos para uma vasta gama de processos gravura em àgua forte do plasma. A Série de Tegal 900ACS é aperfeiçoada para a almofada, a camada zero, o nitreto não-selectivo, a parte traseira, e gravura a água-forte do planarization, assim como para o óxido, o nitreto, os polis, e pedidos compostos dos materiais para HB-LED, MEMS, e a fabricação Optoelectronic do dispositivo. A plataforma da Série 900ACS incorpora um sistema de transporte produção-provado que possa acomodar as carcaças do círculo de 75 milímetros a de 200 milímetros, as quadradas ou as retangulares.
Igualmente da nota, a elevação Avançada (ACS) do Sistema de Controlo está disponível exclusivamente de Tegal como um retrofit do campo ou da fábrica para a base instalada existente de sistemas de 900 e 980 séries. O ACS caracteriza uma interface de utilizador gráfica inteiramente integrada, um registo de dados paramétrico, um apoio completo da automatização de fábrica, e uns realces da produção para o sistema demanipulação.