Tegal Корпорация, ведущий конструктор и изготовление etch плазмы и систем низложения используемых в продукции интегральных схема, MEMS, и приборов нанотехнологии, сегодня объявленных что она грузил дополнительный блок 901ACS к ведущему изготовлению opto-полупроводника/СИД для того чтобы поддержать расширение емкости для освещать и оптически продукции прибора датчика. Новая система Tegal 901ACS добавляет к основанию клиента существуя установленному систем etch 900 Серий.
Murali Narasimhan, Недостаток - Президент - Маркетинг Tegal Корпорации, сказал: «СИД Высокой Яркости широко узнано как был новаторскими источниками света совместимыми при зеленое будущее, предлагая важные преимущества сбережений энергии потребления низкой мощности и низкого термального выхода. Дополнительно, компактные размеры HB-СИД, и их гибкость форм-фактора, раскрывают дверь к делать астетические улучшения для освещать в автомобильных, воздухоплавательных, коммерчески, и домашних окружающих средах. Это следовать-на пересылке для инструмента продукции 901ACS показывает высокой степени нашего клиента соответствия с ломовой лошадью Tegal etchers продукции 900 Серий. Эти инструменты предлагают самое недорогое владения для много применений etch в сильно деликатной области цены продукции IC для бытовой электроники.»
Tegal 901ACS самые последние в ряду систем etch плазмы диода произведенных Tegal, пионера индустрии в коммерчески вытравливании плазмы одиночн-вафли. Над 1.500 системами в 900 Сериях грузите к дате, обеспечивающ надежную и рентабельную поддержку для широкого диапазона процессов etch плазмы. Серия Tegal 900ACS оптимизирована для пусковой площадки, zero слоя, неселективного нитрида, задней стороны, и вытравливания planarization, так же, как для окиси, нитрида, поли, и составные применения материалов для HB-LED, MEMS, и Электронно-оптический изготовления прибора. Платформа Серии 900ACS включает продукци-доказанную транспортную систему которая может приспособить субстраты круга 75 mm к 200 mm, квадратных или прямоугольных.
Также примечания, Предварительный подъем (ACS) Системы Управления доступен исключительно от Tegal как retrofit поля или фабрики для существуя установленного основания 900 и 980 систем последовательного соединения. ACS отличает польностью интегрированным графическим интерфейсом пользователя, параметрической регистрацией данных, полной поддержкой автоматизации фабрики, и повышениями объём для вафл-регулируя системы.