Tegal Corporation , en ledande designer och tillverkare av plasma etch och nedfall system som används vid tillverkning av integrerade kretsar, MEMS och enheter nanoteknik, tillkännagav idag att bolaget har levererat ytterligare en 901ACS enhet till en ledande opto-halvledare / LED tillverkaren att stödja kapacitet expansion för belysning och optisk sensor-enhet produktion. Det nya Tegal 901ACS systemet bidrar till kundens befintliga installerade bas av 900-serien etch-system.
Murali Narasimhan, Vice President - Marknadsföring av Tegal Corporation, sade: "High Brightness LED är allmänt erkända som nyskapande ljuskällor kompatibel med grön framtid, vilket ger viktiga fördelar energin bevarande av låg strömförbrukning och låg värmeutveckling. Dessutom öppnar kompakta mått av HB-LEDs, och deras form-faktor flexibilitet, dörren till att göra estetiska förbättringar för belysning i bil-, flyg-, kommersiella och hemmiljöer. Denna uppföljning av leverans för 901ACS produktion verktyget visar våra kunders höga grad av tillfredsställelse med arbetshästen Tegal 900 etsare serieproduktion. Dessa verktyg erbjuder de lägsta ägandekostnad för många etch applikationer i mycket kostnadseffektiv känsliga området produktion av integrerade kretsar för konsumentelektronik. "
Den Tegal 901ACS är den senaste i en serie av etch diod plasma-system som produceras av Tegal, branschens pionjär inom kommersiell singel-wafer plasma etsning. Över 1500 system i 900-serien har levererats hittills, tillförlitliga och kostnadseffektiva stöd för ett brett spektrum av plasma etch processer. Den Tegal 900ACS-serien är optimerad för pad, noll lager, icke-selektiva nitrid, baksidan, och planarization etsning, liksom för oxid, bornitrid, poly, och material sammansatta applikationer för HB-LED, MEMS och Optoelektroniska Komponentframställning. Den 900ACS serien plattformen innehåller ett väl beprövat transportsystem som kan rymma 75 mm till 200 mm runda, kvadratiska eller rektangulära substrat.
Värt att notera, är Advanced Control System (ACS) uppgradering tillgänglig uteslutande från Tegal som ett fält eller fabrik eftermontering för de existerande installerade på 900 och 980-serien system. ACS har en helt integrerad grafiskt användargränssnitt, parametrisk dataloggning, fullt fabriksautomation stöd och tillbehör genomströmning för rånet-hanteringssystem.