Tegal Corporation、一位主设计师和制造商用于集成电路， MEMS 的生产和证言系统的等离子铭刻和纳米技术设备，今天宣布它发运一个另外的 901ACS 部件对一个主导的 opto 半导体/LED 制造商支持点燃和光学传感器设备生产的能力扩展。 新的 Tegal 901ACS 系统添加到 900 系列铭刻系统客户的现有的产品安装信息库。
穆拉利 Narasimhan，副总统 - Tegal Corporation 营销，说： “高亮度 LEDs 广泛被认可作为是创新光源与绿色远期兼容，提供低功率冲减和低热量输出的重要能源节约福利。 另外，紧凑维数乙肝 LEDs 和他们的表单系数灵活性，对做点燃的审美改进打开这个门在汽车，航空，商业和家庭环境里。 901ACS 生产工具的此后续发运显示我们的客户的高度对这匹耕马 Tegal 的满意度 900 系列生产蚀刻师。 这些工具高度提供最低价许多铭刻应用的所有权在集成电路生产费用敏感的区域家电的”。
Tegal 901ACS 是最晚在 Tegal 导致的一系列的二极管等离子铭刻系统，在商业单一薄酥饼等离子蚀刻的行业先驱。 1,500 个系统在 900 系列中迄今被发运了，提供可靠和有效技术支持为各种各样的等离子铭刻进程。 Tegal 900ACS 串联被优选为填充、零的层、无选择性的氮化物、后侧方和 planarization 蚀刻，以及为氧化物，氮化物，多和对 HB-LED、 MEMS 和光电子设备制造的复合材料申请。 900ACS 串联平台合并可能适应 75 mm 到 200 mm 圆，方或者长方形基体的一个生产证明的运输系统。
并且附注，高级控制系统 (ACS)升级从 Tegal 完全是可得到作为域或工厂更新为 900 和 980 系列系统现有的产品安装信息库。 ACS 以一种充分地集成图形用户界面，参数数据资料记录，最大的工厂自动化技术支持和处理量改进为特色这个薄酥饼处理的系统的。