Tegal公司 ，等離子體刻蝕和沉積系統用於生產集成電路，MEMS和納米技術設備的領先設計者和製造商，今天宣布，它已附帶一個額外的901ACS單位，以領先的光電半導體/ LED製造商，以支持能力用於照明和光學傳感器設備生產的擴張。 Tegal 901ACS系統新增加了客戶現有的900系列蝕刻系統安裝基地。
穆拉利Narasimhan - Tegal公司營銷副總裁說：“高亮度LED被廣泛認為是創新的光源與綠色未來的兼容，提供了重要的能源保護效益，低功耗和低熱量輸出。此外，HB - LED的緊湊的尺寸，而且其外形的靈活性，打開門，使照明在汽車，航空，商業和家庭環境的審美改善。 901ACS的生產工具，這對於後續的出貨量，顯示我們客戶的高度滿意的主力Tegal 900系列生產蝕刻。這些工具提供了極具成本敏感的消費類電子產品的集成電路生產領域中的許多蝕刻應用最低的擁有成本。“
Tegal 901ACS的一系列二極管生產 Tegal行業的先行者，在商業的單晶片等離子體刻蝕等離子體刻蝕系統中的最新。 1500多在900系列系統已裝船日期，提供可靠和具有成本效益的等離子蝕刻工藝的廣泛支持。 Tegal 900ACS系列墊，零層，非選擇性氮化物，背面，和平坦的蝕刻，以及為氧化物，氮化物，保利，和高亮度LED，微機電系統，和光電子器件製造的複合材料應用進行了優化。 900ACS系列平台採用了經過生產驗證的運輸系統，可容納 75毫米至200毫米的圓形，方形或長方形基板。
另外值得注意的是，先進控制系統（ACS）的升級是專門從 Tegal作為現場或工廠改造現有的裝機容量為 900和980系列系統的基礎。 ACS的功能完全集成的圖形用戶界面，參數數據的記錄，全面的工廠自動化支持，以及晶圓處理系統的吞吐量增強。