Tegal Empfängt Ordnung für PVD-Cluster-Hilfsmittel von der SpitzenGießerei der reihen-MEMS

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal Corporation, ein führender Designer und Hersteller der Plasmaätzung und der Absetzungsanlagen, die in der Produktion von integrierten Schaltungen, MEMS und Nanotechnologieeinheiten, angekündigt ihm verwendet wurden, hatte eine Ordnung für eine Bemühung (TM) am PVD-Clusterhilfsmittel von einer Höchstreihe MEMS Gießerei empfangen, die in Europa gelegen ist. Die Bemühungsanlage ist in den Abnehmer eingebaut, der tolles 150mm MEMS neu-erweitert wird und wird, um MEMS-Einheiten für die Automobil-, biomedizinischen und des Verbrauchers zu produzieren elektronischen Märkte der Telekommunikation, verwendet.

„Die Anlage der Bemühung PVD wurde von unserem Abnehmer auf der Grundlage von die Produktionserfolgsbilanz der Bemühung, seine Vielseitigkeit ausgewählt, und auf der Qualität der Filme, denen die Bemühung AN (TM) produziert,“ sagte Thomas Mika, Präsident u. CEO von Tegal Corporation. „Tegals MEMS-Abnehmer, wie diese bedeutende MEMS-Gießerei, investieren in erweiterter Produktionskapazität, die schwankende Nachfrage nach MEMS-Einheiten in den Anwendungen wie Handyhörer-Silikonmikrophonen zu unterstützen, in denen Gerätenversand erwartet werden, um sich zu verdoppeln, von jährliche 300M bis 600M, bis 2009. Unsere Bemühung An der Anlage (TM) wurde gekauft, um diesen Handels-MEMS-Fälschungsbedarf zu unterstützen.“

Die Tegal-Bemühung An der Anlage (TM) ist ein Clusterhilfsmittel des hochmodernes, Ultrahochvakuum PVD, das in Produktion fabs verwendet wird, um Filme des konsequenten, hohen Reinheitsgrades, mit Tief zu den nulldruckwerten, in einer extrem sauberen Prozessumgebung abzugeben. Diese Filme werden breit in den Unterstoß Aufdampfenanwendungen, im hoch entwickelten Verpacken, in den Starkstromgeräten, in den Fotomasken (einschließlich EUV), Hochhelligkeit in lichtemittierenden Dioden (HB-LED) und im Erstellen von Galvano-akustischen Einheiten für FBARs und HF MEMS verwendet. Die Bemühung AN (TM) hat eine bedienungsfreundliche GUI-, SECS-/GEMnachrichtenübermittlung, zuverlässigen handhabenden Niedrigkontakt Wafer und flexible Waferform- und -größenfähigkeit, die es Ideal für ultra-saubere Produktionsumgebungen für VorderSide- und Rückseitenanwendungen macht. Wahlweise Schaden-freie Weichätzung Blöcke und eine Vielzahl von HF-Magnetronkonfigurationen, ist erhältlich, viel unterschiedlichen Nichtleiter und leitfähigen die Filme zu spritzen, die im Halbleiter, in MEMS und in anderer Produktion des elektronischen Geräts verwendet werden.

Last Update: 4. June 2015 06:00

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