Tegal निगम , एक अग्रणी डिजाइनर और प्लाज्मा नक़्क़ाशी और बयान एकीकृत सर्किट, MEMS, और नैनो उपकरणों के उत्पादन में इस्तेमाल किया प्रणालियों के निर्माता, की घोषणा की पर (टीएम) PVD क्लस्टर उपकरण एक शीर्ष स्तरीय MEMS से एक प्रयास के लिए एक आदेश प्राप्त किया था फाउंड्री यूरोप में स्थित है. इन्डेओवर प्रणाली में स्थापित किया जाएगा ग्राहक 150mm MEMS के फैब हाल ही में विस्तार किया है, और दूरसंचार, मोटर वाहन, जैव चिकित्सा, और उपभोक्ता इलेक्ट्रॉनिक बाजार के लिए MEMS उपकरणों का उत्पादन किया जाएगा.
"प्रयास PVD प्रणाली हमारे ग्राहकों द्वारा इन्डेओवर उत्पादन ट्रैक रिकॉर्ड, अपनी बहुमुखी प्रतिभा, और फिल्मों है कि एटी (टीएम) इन्डेओवर उत्पादन की गुणवत्ता पर के आधार पर चुना गया था" थॉमस मिका, राष्ट्रपति और Tegal निगम के सीईओ ने कहा . "है Tegal इस प्रमुख MEMS फाउंड्री की तरह MEMS ग्राहकों, उत्पादन क्षमता का विस्तार में निवेश कर रहे हैं सेल फोन हैंडसेट सिलिकॉन माइक्रोफोन 300M से वार्षिक 600m जहां इकाई लदान के लिए दोगुना होने की उम्मीद कर रहे हैं, जैसे अनुप्रयोगों में MEMS उपकरणों के लिए बढ़ती मांग, समर्थन 2009 प्रणाली (टीएम) एटी हमारा प्रयास इन वाणिज्यिक MEMS निर्माण की जरूरत का समर्थन करने के लिए खरीदा गया था. "
प्रणाली (टीएम) एटी Tegal इन्डेओवर एक राज्य के-the-कला, अति उच्च निर्वात PVD क्लस्टर उपकरण उत्पादन FABS में इस्तेमाल शून्य तनाव मूल्यों के लिए कम के साथ संगत, उच्च शुद्धता फिल्मों, जमा एक अत्यंत स्वच्छ प्रक्रिया माहौल में है. इन फिल्मों के तहत टक्कर धातुरूप अनुप्रयोगों, उन्नत पैकेजिंग, बिजली उपकरणों, फोटो मास्क (EUV सहित), उच्च चमक प्रकाश उत्सर्जक डायोड (एचबी एल ई डी), FBARs और आरएफ MEMS के लिए विद्युत ध्वनिक उपकरणों को बनाने में और में व्यापक रूप से उपयोग कर रहे हैं. एटी इन्डेओवर (टीएम) एक जीयूआई, सेक्टर / रत्न संचार, विश्वसनीय वफ़र कम संपर्क से निपटने, और लचीला वफ़र आकृति और आकार की क्षमता है, कि यह दोनों के सामने साइड के लिए अल्ट्रा साफ उत्पादन वातावरण के लिए आदर्श बनाता है उपयोग में आसान है और बैक साइड अनुप्रयोगों. वैकल्पिक मुक्त क्षति नरम खोदना मॉड्यूल, और आरएफ magnetron विन्यास की एक किस्म, के लिए कई अलग अलग ढांकता हुआ और प्रवाहकीय अर्धचालक, MEMS, और अन्य इलेक्ट्रॉनिक डिवाइस के उत्पादन में इस्तेमाल फिल्मों धूम उपलब्ध हैं.