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Tegal recebe pedido para PVD ferramenta Cluster de MEMS Foundry Top Tier

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal Corporação , um designer e fabricante líder de sistemas de plasma etch e deposição utilizados na produção de circuitos integrados, MEMS, e dispositivos de nanotecnologia, anunciou que tinha recebido uma ordem para uma Endeavor AT (TM) ferramenta de agrupamento PVD de um MEMS de primeira linha fundição localizada na Europa. O sistema Endeavor será instalado no cliente recém-expandido 150 milímetros MEMS fab, e será utilizado para produzir dispositivos MEMS para o de telecomunicações, automotiva, biomédica, de consumo e mercados eletrônicos.

"A Endeavor PVD sistema foi escolhido pelo nosso cliente na base da Endeavor do histórico de produção, sua versatilidade, e na qualidade dos filmes que a Endeavor AT (TM) produz", disse Thomas Mika, Presidente e CEO da Tegal Corporação . "Os clientes Tegal de MEMS, como este grande foundry de MEMS, estão investindo em capacidade de produção ampliada para suportar a crescente demanda por dispositivos de MEMS em aplicações tais como telefone celular microfones aparelho de silício, onde as vendas da unidade deverão dobrar, a partir de 300M para 600M anualmente, por 2009. Nossa Endeavor AT (TM) do sistema foi comprado para dar suporte a essas necessidades comerciais de fabricação de MEMS. "

A Endeavor Tegal AT (TM) do sistema é um estado-da-arte, ultra-alto vácuo ferramenta de agrupamento PVD usado em fábricas de produção para depositar consistente, filmes de alta pureza, com baixo a zero valores de tensão, em um ambiente de processo extremamente limpo. Estes filmes são amplamente utilizados em aplicações sob bump-metalização, empacotamento avançado, dispositivos de potência, máscaras de fotos (incluindo EUV), de alto brilho diodos emissores de luz (HB-LEDs), e na criação de dispositivos eletro-acústicos para FBARs e RF MEMS. A Endeavor AT (TM) tem um fácil de usar GUI, SECS / GEM comunicação, manipulação de wafer de confiança de contato de baixo, e forma wafer flexível e capacidade de tamanho, que o torna ideal para ambientes de produção ultra-limpo para os dois front-side e back-side aplicações. Opcional sem danos soft-etch módulos, e uma variedade de configurações de RF magnetron, estão disponíveis para sputter dielétrica diferente e filmes condutores utilizados em MEMS de semicondutores, e de produção outro dispositivo eletrônico.

Last Update: 5. October 2011 19:43

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