Tegal получила заказ на инструмент кластера PVD от ведущего MEMS литейных

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal корпорация , ведущий разработчик и производитель плазменного травления и осаждения систем, используемых в производстве интегральных схем, MEMS и нанотехнологии устройств, объявила, что получила заказ на Endeavor AT (TM) инструмент кластера PVD из топ-уровня MEMS литейное, расположенных в Европе. Endeavor система будет установлена ​​на клиента недавно расширила 150mm MEMS фабрики, и будет использоваться для производства MEMS-устройств для телекоммуникационных, автомобильных, биомедицинских, и потребительского рынка.

"Endeavor PVD системы был выбран наш клиент на базе производственных Endeavor в послужной список, его универсальность, а также на качество фильмов, которые Endeavor AT (TM) производит", сказал Томас Мика, президент и генеральный директор Tegal корпорации . "Tegal в MEMS клиентов, как этого крупного MEMS литейного производства, вкладывают средства в расширение производственных мощностей для поддержки растущего спроса на MEMS-устройств в таких приложениях, как сотовый телефон телефон кремниевых микрофонов, где штучном, как ожидается, удвоится, от 300M до 600 млн. в год, по 2009 год. Наши Endeavor AT (TM) система была куплена для поддержки этих коммерческих нужд изготовления МЭМС ".

Tegal Endeavor AT (TM) Система состоянии-искусство, сверхвысоком вакууме PVD кластера инструмент, используемый в производстве фабрики на депозит стабильно высокого фильмов чистоты, с низким или нулевым значениям напряжения, в очень чистый процесс окружающей среды. Эти пленки широко используются в возрасте до бамп металлизации приложений, современные упаковки, мощность устройства, фотошаблонов (в том числе EUV), высокой яркости светодиодов (HB-LED), а также в создании электро-акустические устройства для FBARs и РФ MEMS. Endeavor AT (TM) имеет простой в использовании графический интерфейс, сек / GEM связи, надежной низким контакта пластины обработки, и гибкую форму пластин и размера возможностей, что делает его идеальным для ультра-чистых производственных средах для передней панели и обратно-приложений. Дополнительные без повреждений мягких травления модулей и различных конфигураций РФ магнетрон, которые доступны для распыления различных диэлектрических и проводящих пленок, используемых в области полупроводников, MEMS и других электронных устройств производства.

Last Update: 3. October 2011 16:31

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit