Tegal får order på PVD Cluster Tool från Top Tier MEMS-Foundry

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal Corporation , en ledande designer och tillverkare av plasma etch och nedfall system som används vid tillverkning av integrerade kretsar, MEMS och enheter nanoteknik, meddelade man fått en order på ett Endeavor AT (TM) PVD kluster verktyg från en top-tier MEMS gjuteri ligger i Europa. Endeavor Systemet kommer att installeras i kundens nyligen expanderat 150mm MEMS fab, och kommer att användas för att producera MEMS-enheter för telekommunikation, fordon, biomedicin, och hemelektronik marknader.

"Det Endeavor PVD-system valdes av våra kunder på grundval av Endeavor produktion meritlista, dess mångsidighet och på kvaliteten på de filmer som Endeavor AT (TM) ger", säger Thomas Mika, koncernchef och vd för Tegal Corporation . "Tegal MEMS kunder, som den här stora MEMS-tillverkare, investerar i utökad produktionskapacitet för att stödja stigande efterfrågan på MEMS-enheter i tillämpningar såsom luren mobiltelefon kisel mikrofoner, där levererade enheter förväntas fördubblas från 300M till 600m årligen, av 2009. vår strävan AT (TM) systemet köpts för att stödja dessa kommersiella behov MEMS tillverkning. "

Den Tegal Endeavor AT (TM) är en state-of the-art, ultrahögvakuum PVD kluster verktyg som används i produktionen fabriker sätta konsekventa, hög renhet filmer, med låg till noll stressen värden, i en extremt ren process miljö. Dessa filmer är allmänt används i under-bula metallisering applikationer, avancerade förpackningar, strömförsörjning, masker foto (inklusive EUV), hög ljusstyrka lysdioder (HB-LED), och genom att skapa elektro-akustiska apparater för FBARs och RF MEMS. Endeavor AT (TM) har en enkel att använda GUI, sek / GEM kommunikation, tillförlitliga och kontakt halvledare och flexibel rån form och storlek förmåga, som gör den idealisk för ultra-ren produktion miljöer för både front-side och back-side applikationer. Tillval utan skador mjuka etch moduler och en mängd av RF magnetron konfigurationer finns tillgängliga för att spotta många olika dielektriska och ledande filmer som används i halvledare, MEMS och annan elektronisk enhet produktion.

Last Update: 5. October 2011 19:43

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit