Tegal 从顶部等级 MEMS 铸造厂收到 PVD 字符串工具的订单

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal Corporation、一位主设计师和制造商用于集成电路, MEMS 的生产和证言系统的等离子铭刻和纳米技术设备,宣布它收到了努力的一份订单在 (TM) PVD 字符串工具从位于欧洲的顶等级 MEMS 铸造厂。 努力系统在这个客户的将被安装最近膨胀 150mm MEMS 很好和用于导致电信,汽车,生物医学和消费者电子市场的 MEMS 设备。

“努力 PVD 系统由我们的客户选择根据努力的生产记录,其通用性,并且在努力影片的质量 (TM) 生产”,托马斯米卡, Tegal Corporation 的总统 & CEO 说。 “Tegal 的 MEMS 客户,象此专业 MEMS 铸造厂,在膨胀的生产能力投资支持对 MEMS 设备的涌起的需求在应用例如移动电话手机硅话筒,部件发运在 2009年之前预计加倍,从 300M 到 600M 逐年。 我们的在 (TM) 系统的努力被采购支持这些商业 MEMS 制造需要”。

在 (TM) 系统的 Tegal 努力是用于生产 fabs 的科技目前进步水平,超高真空 PVD 字符串工具存款一致,高纯度影片,与低到零的重点值,在一个非常干净的处理环境里。 这些影片广泛使用在以下爆沸金属化应用,先进包装,功率设备、照片屏蔽 (包括 EUV),高亮光发光二极管 (乙肝 LEDs) 和在创建电声的设备为 FBARs 和 RF MEMS。 努力在 (TM) 有一份易用 GUI, SECS/GEM 通信、处理可靠的低联络的薄酥饼和灵活的薄酥饼形状和范围功能,做它超干净的生产环境的理想前侧和后侧方应用的。 选项无损的软铭刻模块和各种各样的 RF 磁控管配置,是可用飞溅许多另外用于半导体、 MEMS 和其他电子设备生产的电介质和导电性影片。

Last Update: 14. January 2012 23:42

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