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Tegal接收來自頂級 MEMS代工為了 PVD集群工具

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal公司 ,等離子體刻蝕和沉積系統用於生產集成電路,MEMS和納米技術設備的領先設計者和製造商宣布,它已收到AT(TM)的PVD集群工具從頂級MEMS奮進的順序鑄造廠位於歐洲。奮進系統將被安裝在客戶的最近擴大150毫米的MEMS晶圓廠,將用於電信,汽車,生物醫藥,和消費電子市場的MEMS器件。

“”奮進的PVD系統是由客戶選定的奮進的生產跟踪記錄,它的多功能性和質量的電影 AT(TM)的努力產生的基礎上,“說托馬斯米卡,Tegal公司總裁兼首席執行官。 “Tegal的MEMS的客戶像這個主要的MEMS代工,,是投資在擴大產能以支持的MEMS器件,如手機矽麥克風,其中出貨量是預計將增加一倍,每年從 300M至600M的應用風起雲湧的需求,由2009年,我們在(TM)系統的努力購買,以支持這些商業 MEMS製造的需要。“

Tegal奮進(TM)系統是一個國家最先進的超高真空物理氣相沉積集群工具用於沉積低到零應力值一致,純度高的電影,在生產工廠,在一個非常乾淨的過程環境。這些影片被廣泛利用在凸點下金屬化應用,先進的封裝,功率器件,光掩模(包括EUV技術),高亮度發光二極管(HB - LED的),並在創建 FBARs和射頻 MEMS電聲器件。奮進(TM)易於使用的圖形用戶界面,SECS / GEM通信,可靠的低接觸晶圓處理和靈活的晶圓的形狀和大小的能力,這使得它為超潔淨的生產環境,為前端的理想背面應用。可選無損傷軟蝕刻模塊,以及各種射頻磁控配置,可用到許多不同的介質和半導體,MEMS及其他電子設備的生產中所使用的導電膜濺射。

Last Update: 23. October 2011 22:03

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