Tegal 從頂部等級 MEMS 鑄造廠收到 PVD 字符串工具的訂單

Published on June 9, 2007 at 12:02 AM

Tegal Corporation、一位主設計師和製造商用於集成電路, MEMS 的生產和證言系統的等離子銘刻和納米技術設備,宣佈它收到了努力的一份訂單在 (TM) PVD 字符串工具從位於歐洲的頂等級 MEMS 鑄造廠。 努力系統在這個客戶的將被安裝最近膨脹 150mm MEMS 很好和用於導致電信,汽車,生物醫學和消費者電子市場的 MEMS 設備。

「努力 PVD 系統由我們的客戶選擇根據努力的生產記錄,其通用性,并且在努力影片的質量 (TM) 生產」,托馬斯米卡, Tegal Corporation 的總統 & CEO 說。 「Tegal 的 MEMS 客戶,像此專業 MEMS 鑄造廠,在膨脹的生產能力投資支持對 MEMS 設備的湧起的需求在應用例如移動電話手機硅話筒,部件發運在 2009年之前預計加倍,從 300M 到 600M 逐年。 我們的在 (TM) 系統的努力被採購支持這些商業 MEMS 製造需要」。

在 (TM) 系統的 Tegal 努力是用於生產 fabs 的科技目前進步水平,超高真空 PVD 字符串工具存款一致,高純度影片,與低到零的重點值,在一個非常乾淨的處理環境裡。 這些影片廣泛使用在以下爆沸金屬化應用,先進包裝,功率設備、照片屏蔽 (包括 EUV),高亮光發光二極管 (乙肝 LEDs) 和在創建電聲的設備為 FBARs 和 RF MEMS。 努力在 (TM) 有一份易用 GUI, SECS/GEM 通信、處理可靠的低聯絡的薄酥餅和靈活的薄酥餅形狀和範圍功能,做它超乾淨的生產環境的理想前側和後側方應用的。 選項無損的軟銘刻模塊和各種各樣的 RF 磁控管配置,是可用飛濺許多另外用於半導體、 MEMS 和其他電子設備生產的電介質和導電性影片。

Last Update: 4. June 2015 05:55

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