유효한 첫번째 Nano에서 Semiconducting Nanowires 생성을 위한 독점 시스템

Published on July 17, 2007 at 12:26 AM

그것의 방출이 ET2000-SS와 ET3000-SS 특히 반 수행 Nanowires 생성을 위해 디자인된 단단한 근원 공술서 시스템이다는 것을 첫번째 Nano, CVD Equipment Corporation의 부분 오늘 알렸습니다.

산화아연 (Zno)와 갈륨 질화물 (GaN)와 같은 물자에게서 만들어진 단 하나 크리스탈 nanowires는 계속 전자와 광전자 공학 물자로 그들의 현저한 속성 때문에 수년간 연구원의 초점입니다.

GaN는 파랗고, 녹색과 UV 발광 다이오드 (LEDs) 및 레이저에 사용된 반 수행 물자입니다. 파란 LEDs는 또한 플래쉬 등, signage 및 그밖 점화 응용에서 지금 이용되는 인광체로 공정한 판단 LEDs를 만들기 위하여 취급됩니다.

ZnO는 파랗 LEDs와 레이저에 사용된 반 수행 물자이고, GaN에 비교적 싼 대안이고 생각됩니다. ZnO는 또한 그것에게 로션을 막는 화장품과 태양과 같은 개인적인 제품에 있는 중요한 성분을 만드는 흡수하는 UV 방사선을 위해 유명합니다.

계속 연구원은 갈륨과 아연 분말과 같은 단단한 근원을 사용해서 현재 금속 유기 증기 공술서 화학 수증기 공술서 방법으로 사용된 LEDs 제조를 위해 전통적인 금속 유기 근원 사용에 비교적 싸고 더 안전한 대안이십시오 (MOCVD) 설명할 수 있습니다.

지금까지, GaN와 ZnO nanowire LEDs와 레이저는 계속 연구 가늠자에서만 가능합니다. 더 큰 견본 생성을 위한 중요한 문제점의 한개는 단단한 근원 (Zn 또는 계속 Ga)와 견본의 온도 균등성의 온도를 통제하기 위한 것입니다.

이 물자 예금을 위한 전형적인 프로세스는 "수증기 단단한 것" (대)" 또는 "수증기 액체 단단한" CVD의 (VLS) 방법에게 불립니다. ZnO의 경우에, 근원은 ~900o 섭씨에 근원 분말을 기체화하기 위하여 가열되고 견본은 온도가 ~800o 섭씨에 투하하는 약실에서 둡니다. 대부분의 시스템에서는 이것은 기질을 위한 비균일 지역을, 그러므로 견본을 위한 아주 좁은 프로세스 지역 둘 남겨둡니다.

우리의 단단한 근원 공술서 시스템은 특히 "수증기 단단하던 것" (대)" 및 "수증기 액체 단단한" nanowire 공술서의 (VLS) 방법을 수용하기 위하여 디자인되었습니다. 이 새로운 디자인은 명백한 온도대를 제공해서 원자료와 기질 온도 균등성의 더 나은 온도 조종을 제공하고 폐회로 온도 조종 시스템을 분리합니다. ET2000-SS와 ET3000-SS 시스템의 증가한 수용량과 더불어 향상한 온도 조종은 가득 차있는 생산 수준에 이 현저한 물자를 가져오기에 있는 처음 단계입니다.

Last Update: 15. January 2012 07:13

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