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生產的可用半導體的 Nanowires 專有系統由第一納諾

Published on July 17, 2007 at 12:26 AM

第一納諾, CVD Equipment Corporation 部門今天宣佈版本它是為生產半導體的 Nanowires 特別地設計的 ET2000-SS 和 ET3000-SS 固定的來源證言系統。

由材料做的單一水晶 nanowires 例如氧化鋅 (Zno) 和鎵氮化物 (GaN) 是研究員焦點許多年由於他們卓越的屬性作為電子和光電子材料。

GaN 是為藍色,綠色和紫外發光二極管 (LEDs) 和激光用於的半導體的材料。 藍色 LEDs 也對待與當前用於手電、標誌和其他照明設備應用的黃磷創建白光 LEDs。

ZnO 是為青 LEDs 和激光用於的半導體的材料和認為是較低花費的替代到 GaN。 ZnO 為做它在私有產品的引人入勝的紫外輻射也是著名的一種重要成份例如阻攔化妝水的化妝用品和星期日。

研究員能顯示出,使用固定的來源例如鎵和鋅粉末请是較低花費和更加安全的替代對使用當前金屬有機物蒸氣證言化學氣相沉積方法使用的常規金屬有機 (MOCVD)來源製造的 LEDs。

迄今, GaN 和 ZnO nanowire LEDs 和激光是仅可能的在研究等級。 其中一個生產的更大的範例主要爭論點是控制固定的來源 (鋅或 Ga) 和這個範例的溫度均一的溫度。

存款的這些材料典型的進程稱 「蒸氣固定」 (與)」或 「CVD 蒸氣液體固定的」 (VLS) 方法。 一旦 ZnO,這個來源被加熱對 ~900o 攝氏汽化來源粉末,并且這個範例在這個溫度下降到 ~800o 攝氏的房間安置。 在多數系統這留下這個基體的一不均勻的區,因此能將被安置的這個範例的非常縮小的過程區。

我們固定的來源證言系統特別地被設計適應 「蒸氣固定」 (與)」并且 「nanowire 證言蒸氣液體固定的」 (VLS) 方法。 此新的設計通過提供明顯的溫度區提供參考來源資料和基體溫度均一的更好的溫度控制并且分隔閉合電路溫度控制系統。 以及 ET2000-SS 和 ET3000-SS 系統的增加的能力的被改進的溫度控制是在帶來這些卓越的材料的第一步給充分的生產級別。

Last Update: 23. January 2012 07:14

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