Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

Sub 32nm Wafer Patterning mogelijk gemaakt door Applied Materials

Published on July 18, 2007 at 12:36 AM

Applied Materials, Inc vandaag verbreed haar portfolio van geavanceerde patronen oplossingen met de lancering van zijn Applied Producer ® ACE ™ SACVD ® (1)-systeem. Het helpen van klanten uit te breiden 193nm lithografie met behulp van zelf-gebonden dubbele patronen (SADP) regelingen, Toegepaste het ACE systeem een ​​zeer conforme oxide spacer film levert met> 95% dekking voor stap, <5% patroon laden en <1% niet-uniformiteit, waardoor state-of -the-art kritische dimensie controle. In combinatie met een benchmark throughput van> 80 wafers per uur en een lage thermische budget, de ACE-systeem biedt de industrie de meest productieve en uitbreidbare spacer oplossing voor SADP op de 32nm node en daarbuiten.

"Lithografie is moeilijk om gelijke tred te houden met de vraag naar hogere geheugen opslag dichtheden; SADP-technologie zorgt voor een verdubbeling van de patroon met de huidige dichtheden litho's, waardoor het de beste oplossing voor 32nm en daarbuiten", zegt Hichem M'Saad, vice president en general manager van Applied Materials 'diëlektrische Systems en CMP Business Group. "De gepatenteerde Producer ACE technologie levert een film van ongekende stap dekking en uniformiteit die compatibel is met patronen films zoals de industrie Toegepaste toonaangevende APF ™ koolstof hardmask, om de meest geavanceerde 22nm lijn / ruimte-arrays te bereiken."

Spacer films spelen een belangrijke rol in het fabriceren van geavanceerde geheugen cellen met behulp van SADP regelingen. Afgezet op de top van een offer APF lijn / ruimte-array, de ACE-spacer film wordt een harde masker dat half-pitch functies creëert in een tweede laag onder APF.

De prestaties van Toegepaste's ACE-technologie is gevalideerd bij Applied's Maydan Technology Center. Een geavanceerde TANOS flash-geheugen structuur werd vervaardigd met behulp van een geavanceerde SADP techniek. De structuur werd met succes geoptimaliseerd met behulp van Applied's Producer CVD, Centura ® AdvantEdge ™ G3 Etch-en VeritySEM ™ Metrologie-systemen. Deze geavanceerde leren kan klanten helpen bij het verminderen van de ontwikkeltijd en de kosten voor de uitvoering van dubbele patronen technologie in hun volgende generatie apparaten.

De Twin Chamber ™ architectuur van de zeer succesvolle producent Toegepaste's GT ™ platform biedt de industrie de hoogste doorvoersnelheid dichtheid. Applied's Producer CVD-systemen worden gebruikt door alle grote chip fabrikant, met verscheept meer dan 1.500 systemen wereldwijd. Het Producer systeem heeft vastgesteld Toegepaste's technologisch leiderschap in alle geavanceerde CVD chipmaking toepassingen, waaronder lage-k, stam engineering, litho-enabling films, thermische films en hoge temperatuur PECVD (2).

De Toegepaste Producer ACE technologie zal worden tentoongesteld op de stand Applied's # 1030 op SEMICON West, als onderdeel van de portefeuille van Applied's van de lithografie-enabling-oplossingen.

Last Update: 3. October 2011 10:05

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit