Sub Graças Wafer 32nm Patterning Possível Applied Materials

Published on July 18, 2007 at 12:36 AM

Applied Materials, Inc. hoje ampliou seu portfólio de soluções de padrões avançados com o lançamento de seu Produtor Aplicada ® ACE ™ SACVD ® sistema (1). Ajudando os clientes a estender a litografia 193nm usando auto-alinhados de casal padronização (SADP) esquemas, sistema Aplicada da ACE oferece um filme espaçador altamente conformal óxido com> a cobertura etapa 95%, <de carga padrão de 5% e <1% não uniformidade, permitindo que o estado-da -arte do controle dimensão crítica. Combinado com um caudal de referência> 80 placas por hora e um baixo orçamento térmica, o sistema ACE oferece a solução de espaçador mais produtivos e prorrogáveis ​​por SADP no nó de 32 nm e além.

"Litografia está lutando para manter o ritmo com a demanda por altas densidades de armazenamento de memória, tecnologia SADP permite a duplicação da densidade padrão usando esquemas lito atual, tornando-se a solução preferida para 32nm e além", disse Hichem M'Saad, vice-presidente e director geral gerente de Sistemas da Applied Materials dielétrica e Business Group CMP. "A tecnologia proprietária ACE Produtor entrega um filme de cobertura passo ímpar e uniformidade que é compatível com filmes de padronização, como a indústria Aplicada líder APF ™ carbono hardmask, para alcançar a linha mais avançada da indústria 22nm / arrays espaço."

Filmes espaçador desempenham um papel fundamental na fabricação de células de memória avançada usando esquemas SADP. Depositado em cima de um sacrifício APF line array / espaço, o filme torna-se um espaçador ACE máscara dura que cria half-pitch características em uma camada APF segundo abaixo.

O desempenho da tecnologia aplicada de ACE foi validado em Maydan Aplicada do Centro de Tecnologia. Um avançado Tanos estrutura de memória flash foi fabricado usando uma técnica SADP avançado. A estrutura foi otimizada com sucesso usando Produtor Aplicada do CVD, Centura ® AdvantEdge ™ G3 Etch e VeritySEM sistemas ™ Metrologia. Esta aprendizagem avançada pode ajudar os clientes a reduzir o tempo eo custo de desenvolvimento para a implementação da tecnologia padronização dupla em seus dispositivos de próxima geração.

A Câmara Twin ™ arquitetura do Produtor Aplicada do GT muito bem sucedida plataforma ™ oferece a densidade do setor mais alto throughput. Sistemas aplicados de Produtor CVD estão sendo usados ​​por cada fabricante de chips maiores, com mais de 1.500 sistemas vendidos no mundo. O sistema produtor estabeleceu liderança Aplicada da tecnologia em todas as aplicações de fabricação de chips avançados DCV, incluindo low-k, engenharia de tensão, permitindo lito-filmes, filmes térmica e alta temperatura PECVD (2).

A tecnologia ACE Aplicada Produtor serão apresentadas no estande do Aplicada # 1030 em SEMICON Oeste, como parte da carteira Aplicada da litografia, possibilitando soluções.

Last Update: 4. October 2011 14:29

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