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Posted in | MEMS - NEMS | Nanobusiness

향상된 다이아몬드 기술은 다이아몬드 시동기 웨이퍼를 위한 NSF에서 단계 I SBIR를 수신합니다

Published on July 24, 2007 at 11:56 AM

향상된 다이아몬드 기술은 (ADT) "다이아몬드 MEMS 제작을 위한 시동기 웨이퍼의 발달을 위한 국립 과학 재단 (SBIR)에게서 단계 I (NSF) 소기업 혁신 연구 보조금의 포상을 알리는 만족됩니다."

"이 계획사업은 저희가 UNCD를 가진 금속 질화물 및 복잡한 산화물과 같은 그밖 일반적인 MEMS 물자의 통합을 설명해서 UNCD DOI (절연체에 다이아몬드) 제품라인을 더 확장하는 것을 허용합니다. 우리는 걸출한 균등성을 가진 다이아몬드 웨이퍼가 규모에서 청결과 재현성을 위한 200까지 mm 그리고 대회 MEMS 주조 기준 제조될 수 있다는 것을," 말했습니다 ADT 죤 Carlisle 주요한 기술 장교 박사를 보여줄 것입니다.

Last Update: 15. January 2012 07:13

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