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ZEISS ULTRA plus - Durchbruch in Ultra-Hoch-Auflösung Darstellung von Nicht Leitfähigen Proben

Published on August 8, 2007 at 11:32 AM

Carl Zeiss SMT stellt sich an Mikroskopie u. an Analyse 2007 sein neuentwickeltes „ULTRA plus“ Rasterelektronenmikroskop (SEM) mit eindeutiger Technologie für Ladungsausgleich von nicht leitfähigen Proben dar. Zum ersten Mal stabiler und störungsfreier Bilder können der hohen Auflösung, von den Proben wie Keramik, Polymeren, Fiberoptik und viel mehr sogar an der hohen Beschleunigungsspannung und am hohen Fühlerstrom erhalten werden. Diese technologische Förderung wurde speziell für befriedigende zunehmende Kundennachfragen in der analytischen Forschung, in der Entwicklung und in der Prüfung des fortgeschrittenen Werkstoffs entwickelt. Für Ladungsneutralisation aktiviert eine eigene Gaseinspritzung Anlage für eine lokale bündige Anwendung eines Edelgases. Dadurch wird die elektrostatische Aufladung von Proben neutralisiert und Befund von Sekundärelektronen (SE) sowie von umgekehrten Elektronen (BSE) wird durchführbar. Zahlreiche Anwendungen in den Biowissenschaften, in der Materialverbrauchsanalyse und in den Halbleitern profitieren von dieser Entwicklung.

Beenden Sie Erfassungssystem in ULTRA plus

Unter Verwendung der neuen eigenen Gaseinspritzung Anlage wird der Gebrauch des eindeutigen Inobjektiv SE-Detektors sowie des Inobjektiv EsB-Detektors (Energie-selektives Umgekehrtes) der Industrie-erwiesenen Bereichemission ZEISS ULTRA SEM möglich. Dadurch zum ersten Mal können nicht leitfähige Proben in ULTRA nicht nur unter Schwachstromdarstellungsbedingungen, aber auch am Hochspannungs- und hohen Fühlerstrom nachgeforscht werden, um die volle Funktionalität von Mikroskopfähigkeiten ULTRA führen zu verwenden. Zusammen mit dem Detektor AsB (Winkel-selektives Umgekehrtes) für Niedrigwinkel umgekehrte Elektronen, die Orientierung aufdecken, kontrastieren Sie sowie der Kammer-montierte Detektor Everhart Thornley für topographischen Kontrast, ULTRA plus Angebote ein komplettes Erfassungssystem für alle Anwendungen auf den leitfähigen sowie nicht leitfähigen Proben.

Große Vielfalt von Abnehmerbesonderekonfigurationen

Für die Abdeckung der verschiedenen Kundennachfragen, können das neue und das eindeutige ULTRA plus Anlage einer großen Vielfalt von Pflichtenheften angepasst werden. Es gibt wahlweise eine 80 mm-Schleuse, die mit einer Pumpenzeit von so wenigem wie 30 Sekunden erhältlich ist. Auch erhältlich seien Sie eine super eucentric motorisierte Stufe mit 6 Äxten mit einer Einbauortwiederholbarkeit von 1µm. Ein sehr nützliches Anlagenmerkmal ist eine 100µm Trägerschicht, die die Untersuchung eines ziemlich großen Blickfeldes erlaubt, ohne die Probe mechanisch zu verschieben. Der OptiProbe-Modus aktiviert eine kontinuierliche Einstellung des Strahlstroms von PA 12 zu Na 40. Außerdem aktiviert der so genannte ruhige Modus das Schalten weg vom Vakuum-prepump und lässt bis 40% Einsparungen in der Leistungsaufnahme zu.

ULTRA plus Anlage seien Sie seit Oktober 2007 erhältlich.

Last Update: 17. January 2012 04:47

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