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- 非導電サンプルの超高解像度イメージ投射の進歩と超ツァイス

Published on August 8, 2007 at 11:32 AM

カールツァイス SMT は顕微鏡検査及び分析 2007 で」非導電サンプルの料金の補償のための一義的な技術の (SEM)走査型電子顕微鏡と新開発 「超示します。 はじめて、製陶術、ポリマー、ファイバ・オプティックスおよび多くのようなサンプルからの高リゾリューション、安定したおよび無騒音の画像は高い加速電圧および高いプローブの流れで得ることができます。 この科学技術の進歩は先端材料の分析的な研究、開発およびテストの増加する満足な顧客需要のためにとりわけ開発されました。 料金の中和の為に、専有ガス注入システムは不活性ガスのローカル同じ高さのアプリケーションのために可能になります。 それにより、サンプルの静電気充満は中和し、二次電子、また backscattered (SE) 電子 (BSE) の検出は実行可能になります。 生命科学、材料分析および半導体の多数のアプリケーションはこの開発から利益を得ます。

超の検出システムをと完了して下さい

新しい専有ガス注入システムを使用して、ツァイスの工業証明された超フィールド放出の一義的な内部レンズ SE の探知器、また内部レンズ EsB の探知器 (エネルギー選択的な Backscattered) の使用は両方 SEM 可能になります。 それにより、超顕微鏡の機能を導くことの完全な機能性を使用するためにはじめて非導電サンプルは低電圧イメージ投射条件の下の超だけ、また高圧および高いプローブの流れので調査することができます。 オリエンテーションを明らかにする低角度の backscattered 電子のための AsB (角度の選択的な Backscattered) の探知器とともに対比して下さい、また提供と超地勢対照のための Everhart 区域取付けられた Thornley の探知器伝導性、また非導電サンプルのすべてのアプリケーションのための完全な検出システム。

顧客の細目構成の多種多様

さまざまな顧客需要に応じるために、システムと新しくのそして一義的の超いろいろシステム仕様書に適応させることができます。 任意選択で 30 秒少しのポンプ時間と使用できる 80 の mm ロードロックがあります。 また使用できる 1µm の位置の反復性の 6 斧の極度の eucentric モーターを備えられた段階でであって下さい。 非常に有用なシステム特徴はサンプルを機械的に移動しないで幾分大きい視野の調査を可能にする 100µm のビームシフトです。 OptiProbe のモードは 12 pA からの 40 nA にビーム流れの連続的な調節を可能にします。 さらに、いわゆる静かなモードは真空の prepump を離れて切替えを可能にしま、パワー消費量の 40% まで節約を可能にします。

超システムと 2007 年 10 月現在に使用できてであって下さい。

Last Update: 17. January 2012 02:22

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